LAUDA-Noah POU

Thermoelektrischer Prozessthermostat, speziell für die Halbleiterindustrie, Temperaturbereich von–20nach90 °C

Die Temperaturregelsysteme von LAUDA-Noah POU Thermoelectric bieten eine wiederholbare Temperaturregelung für Plasmagravierungsanwendungen, basierend auf dem bewährten Prinzip der Paller-Wärmeleitung. Für die dynamische Temperaturregelung der ESC ermöglicht die POU den Einsatz in allen Arten von Gravurprozessen.

Energieeffizient, platzsparend und gleichzeitig in der Lage, die Temperatur stabil zu steuern, kann dieses intelligente System die Gleichmäßigkeit von Wafer zu Wafer perfekt verbessern.