• Was ist ein Halbleiter?

Halbleiter (Halbleiter) bezieht sich auf ein Material, das bei normaler Temperatur zwischen dem Leiter (Leiter) und dem Isolator (Isolator) ist.

Halbleiter können je nach Fertigungstechnik in folgende Kategorien unterteilt werden: integrierte Schaltungsgeräte, getrennte Geräte, optische Halbleiter, logische IC, analoge IC, Speicher und andere.

• Was ist ein Chip?

Chips, auch als Mikroschaltung (Microcircuit), Mikrochip (Microchip), integrierte Schaltung (Integrated Circuit, IC) bezeichnet. Es bezieht sich auf Siliziumplatten, die integrierte Schaltungen enthalten, die sehr klein sind und oft Teil eines Computers oder anderer elektronischer Geräte sind.

• Fertigungsprozess

Hinweis: CMP steht für Chemical Mechanical Polishing*Bild aus dem Internet

• Lichtgravur und Erosion

Lithographie ist der Prozess der Übertragung von Grafiken auf eine Lithographie, die auf der Oberfläche einer Halbleiter-Siliziumflatte bedeckt ist. Diese Grafiken müssen dann auf die dünnen Schichten der unter dem Gravur bestehenden Einrichtungen übertragen werden, einen Prozess, den wir Gravur nennen, d.h. selektiv die nicht verdeckten Teile dieser dünnen Schicht zu gravieren.

• Die Methode der Gravur

Es gibt zwei grundlegende Methoden zur Gravierung: chemische und feuchte Gravierung.

Der Mechanismus der feuchten chemischen Gravur besteht hauptsächlich aus drei Phasen: Der Reaktor wird durch Diffusion auf die Reaktoroberfläche, die chemische Reaktion wird auf der Oberfläche durchgeführt und das Reaktionsprodukt wird dann durch Diffusion von der Oberfläche entfernt. Chemische Feuchtigkeitsgravierung ist eher geeignet für die Oberflächengravierung von Polykristallinen Silizium, Oxide, Stickstoffe, Metalle und III-V-Verbindungen.

Nahe-Infrarot-Spektrum-Technologien sind aufgrund ihrer folgenden Vorteile in der Halbleiterindustrie weit verbreitet.

• Nicht-invasive Methoden
• Kleine Verschmutzung verhindert
• Hohe Genauigkeit, gute Reproduzierbarkeit
• Keine Verdünnung der Probe erforderlich
• kann quantitativ analysiert werden
• Kann sowohl chemische Analysen als auch physikalische Indikatoren machen
• Ein Online-Near-Infrarot-Spektrometer mit speziell entwickelten Fasersonde kann in das gesamte System integriert werden

► Anwendungsfall 1: Messung der gemischten Säuregravierungsflüssigkeit mit dem Near-Infrared-Spektrometer

Die Messung mit 1 mm und 4 mm Lichtbereich ist wie folgt ausgewählt, durch die Beobachtung des Spektrums kann festgestellt werden, dass der Spektralrausch von 4 mm Lichtbereich ab 1900nm zunimmt, daher wählen wir die Messung mit 1 mm Lichtbereich.

Die Zahlen, die durch die Vision-Software modelliert und gemessen wurden, um den Gehalt der einzelnen Komponenten der Säuregravierung mit den üblichen Labormethoden zu analysieren, sind in der folgenden Tabelle dargestellt, so dass die Prognoseergebnisse im nahen Infrarot im Wesentlichen mit den Labormethoden übereinstimmen, mit geringen Fehlern.

► Anwendungsfall 2: Messung der Reinigungsflüssigkeit mit einem Online-Near-Infrared-Spektrometer

Die folgende Abbildung zeigt die kontinuierliche Überwachung des Zustands der SC1-Reinigungsflüssigkeit des Kunden mit dem Swisscom-Online-Near-Infrared-Spektrometer. Wir können sehen, dass mit dem Verbrauch der Reinigungsflüssigkeit, NH₄Der OH-Gehalt verringert sich allmählich und der Kunde kann den Reinigungsprozess entsprechend der überwachten Situation bedienen.

► Anwendungsfall 3: Dynamische Überwachung von IPA-Isopropanol mit einem Online-Near-Infrared-Spektrometer

IPA-Isopropanol dient als Reinigungsentfernungsmittel und wird während der Reinigung mit Verunreinigungen in das Lösungsmittel vermischt. Sein nahes Infrarot-Spektrum ist wie folgt dargestellt, und die Auswirkungen der Verunreinigung EKC-265 auf das Spektrum im Wellenlängenbereich von 1900 bis 2000 nm sind deutlich sichtbar.

Wir haben dieses Band verwendet, um ein nahes Infrarotmodell von EKC-265 zu erstellen, das das Modell R sehen kann.²Bei 9,9989 liegt die SEC bei 0,0629. Mit diesem Modell können wir die Veränderungen des Verunreinigungsgehalts im Isopropanol überwachen.

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• Wellenlängenbereich von 800-2200nm für eine Vielzahl von Anwendungen
• Qualitative, mehrkomponente und Trendanalysen in Echtzeit
• Das Gerät erfüllt die Schutzklasse NEMA4X
• Keine chemischen Reagenzien, grüne Kosteneinsparungen
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