Dreidimensionales optisches Oberflächenkontimeter

Ganz neu gestaltet.DreidimensionalOptisches OberflächenkonturmeterS neoxUnterbrechen Sie die Tradition durch die Kombination von Kofokuss-, Interferenz- und Multifokusüberlagerungstechnologien, um keine beweglichen Teile im Messkopf zu messen.

Messtechnik:

Gemeinsamer Fokus

Die Kofokus-Technik kann zur Messung der Form verschiedener Probenoberflächen verwendet werden. Es hat eine höhere horizontale Auflösung von bis zu 0,10um als ein optisches Mikroskop. Es ermöglicht die Messung kritischer Größen. Bei 150-fachen Objektiven mit 0,95 numerischem Durchmesser wird eine Steigung von bis zu 70° (bis zu 86°) auf glatten Oberflächen gemessen. Cofocal Algorithmus gewährleistet die Wiederholbarkeit der Z-Achse Messungen im Nano-Bereich.

Intervention

Phaseninterferenz (PSI)

Phasendifferenzinterferenz ist eine Technik zur Messung der hohen Form einer glatten Oberfläche mit einer Sub-Nano-Genauigkeit. Sein Vorteil besteht darin, dass jedes Vergrößerungsvermöglichungsfach eine Längsauflösung auf Subnanoscale gewährleisten kann. Mit einem 2,5-fachen Objektiv können große Sichtfeldmessungen mit ultrahoher Längsauflösung erreicht werden.

Weißes Licht (VSI)

Weißes Licht Interferenz ist eine Technik zur Messung verschiedener Oberflächenhöhen mit einer Genauigkeit auf der Nanomaschine. Sein Vorteil besteht darin, dass jedes Vergrößerungsvermöglichte eine longitudinale Auflösung auf Nanoskala garantieren kann.

Mehrfokusüberlagerung

Die Multi-Focal-Overlay-Technik wird verwendet, um sehr raue Oberflächenformen zu messen. Auf der Grundlage der umfangreichen Erfahrung von Sensofar in der Konvergenz von Kofokuss- und Interferenztechnologien wurde diese Funktion speziell entwickelt, um die Anforderungen der niedrigen Kofokussmessung zu ergänzen. Die Highlights dieser Technologie sind die Schnelligkeit (mm/s), der große Scanbereich und die große Unterstützungsneigung (86°). Diese Funktion ist besonders nützlich für die Messung von Werkstücken und Formen.

Mess- und Analysesoftware

SensoSCAN

SensoSCAN ist eine einfache und benutzerfreundliche Software. Es führt den Benutzer in die Welt der 3D und bietet ein * Benutzererlebnis. Über die Softwareoberfläche kann der Benutzer intuitiv und eindeutig die verwendeten Messmethoden verstehen und gleichzeitig die Daten anzeigen und analysieren.

Leistungsstarke professionelle Analysesoftware

Durch die Ergänzung der Software SensoPRO LT oder SensoMAP können Messungen und Analysen ganz einfach automatisiert werden.

Anwendung:

DreidimensionalOptisches OberflächenkonturmeterS neoxSie können Ihre Anwendungsanforderungen erfüllen und spielen eine entscheidende Rolle in der Halbleiter-, Biomedizin- und Biotechnologieindustrie.