3D-Oberflächenkontimeter

3D-Oberflächenkontimeter Slynx ist eine neue berührungslose Lösung, die speziell für Industrie und Forschungsinstitute entwickelt wurde3D-OberflächenkontimeterEs ist einfach und vielseitig gestaltet. Slynx ist in der Lage, verschiedene Materialien, Strukturen, Oberflächenrauheit und Wellen zu messen und beinahe alle Arten von Oberflächenformationen abzudecken. Seine Vielseitigkeit ermöglicht es, eine breite Palette von morphologischen Messanwendungen zu erfüllen. Der Kern von Sensofar besteht darin, die drei Messmethoden zu kombinieren, um ihre Leistung zu gewährleisten. Mit dem SensoSCAN-Softwaresystem erhalten die Benutzer eine unglaublich intuitive Bedienungserfahrung.

Anwendungsbereiche:

• Automobilindustrie
• Verbraucherelektronik
• Energiebranche
• LCD-Bildschirm
• Materialwissenschaft
• Mikroelektronik
• Mikroproduktion
• Mikropaleontologie
• Optische Geräte
• Werkzeugmaschinenindustrie
• Halbleiterindustrie
• Uhrenproduktion

3-in-1-Messtechnik

ª gemeinsamer Fokus

Die Kofokus-Technik kann zur Messung der Form verschiedener Probenoberflächen verwendet werden. Es hat eine höhere horizontale Auflösung von bis zu 0,10um als ein optisches Mikroskop. Es ermöglicht die Messung kritischer Größen. Bei 150-fachen Objektiven mit 0,95 numerischem Durchmesser wird eine Steigung von bis zu 70° (bis zu 86°) auf glatten Oberflächen gemessen. Cofocal Algorithmus gewährleistet die Wiederholbarkeit der Z-Achse Messungen im Nano-Bereich.

ª Intervention

Weißes Licht Vertikale Scan Interferenz (VSI) ist eine leistungsstarke Technik, die weit verbreitet wird, um Oberflächeneigenschaften wie Form oder transparente Filmstruktur zu messen. Es eignet sich besser für die Messung von glatten bis moderat rauen Oberflächen und bietet eine vertikale Auflösung auf Nanometern, unabhängig von der Veränderung des NA- oder Vergrößerungsvermöglichungsteils des Objektivs.

ª Multifokusüberlagerung

Die Multi-Focal-Overlay-Technik wird verwendet, um sehr raue Oberflächenformen zu messen. Auf der Grundlage der umfangreichen Erfahrung von Sensofar in der Konvergenz von Kofokuss- und Interferenztechnologien wurde diese Funktion speziell entwickelt, um die Anforderungen der niedrigen Kofokussmessung zu ergänzen. Die Highlights dieser Technologie sind die Schnelligkeit (mm/s), der große Scanbereich und die große Unterstützungsneigung (86°). Diese Funktion ist besonders nützlich für die Messung von Werkstücken und Formen.