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Shanghai Guier Machinery Equipment Co., Ltd
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CVD-Systemrohröfen

VerhandlungsfähigAktualisieren am01/23
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GR.TF-Serie Vakuumrohrofen Detaillierte Beschreibung der GR.TF-Serie Vakuumrohrofen, mit vernünftigem Leistungsdesign, mehrere Funktionen in einem, Sicherheit, Zuverlässigkeit und Praktizität erreichen die idealen Ergebnisse

Produktdetails

GR.TFSerie Vakuumrohrofen Detaillierte Beschreibung


GR.TF-Serie Vakuumrohrofen mit vernünftigem Leistungsdesign, mehrere Funktionen in einem, Sicherheit, Zuverlässigkeit und Praktizität erreichen die idealen Ergebnisse.

1, Temperatur 1100 ° C-1800 ° C, Heizbereich von 300mm.

2, der Ofenkörper verwendet eine doppelschichtige Ofenhäusestruktur, zwischen der doppelschichtigen Ofenhäuse ist ein Ventilator ausgestattet, der schnell aufsteigen und abkühlen kann, und die Oberflächentemperatur der Ofenhäuse ist niedrig.

3, Ofenrohr mit hochreinem Quarzrohr oder Kordom-Rohr, beide Enden mit SUS304 Hochvakuumflansch-Dichtung.

4, das Ofenmaterial wird mit hochwertiger importierter Polykristallinfaser-Vakuumadsorption hergestellt, die Energieeinsparung im Vergleich zu herkömmlichen Hartofenmaterialen ist deutlich verbessert, hat eine starke Widerstandsfähigkeit gegen kalte Hitze, 1100 ° C Elektroofenhofen besteht aus zwei Teilen, von denen der obere Teil des Ofens insgesamt 110 ° C rückwärts gedreht werden kann, 1100 ° C oder höher als Elektroofenhofen ist ein integriertes System, das einfache Entfernen von Experimentsmaterial und den Austausch von Ofenröhren. Die Heizelemente werden aus schwedischem Kantel-Widerstandsdraht, Siliziumkahlstoffstangen und Siliziummolybdenstangen verwendet.

5, Elektroofentemperaturregelungssystem verwendet künstliche Intelligenz-Regeltechnik, die Messgerätesteuerungsgenauigkeit beträgt ± 1 ℃, hat PID-Regelung, Verschwommenheitsteuerung, Selbsteinstellungsfähigkeit und kann verschiedene Erwärmungsprogramme erstellen, hat eine Ultra-Hochtemperatur-Alarmfunktion, hat eine Thermoelement-Schädigungsfunktion, hat eine eingebaute Parameter-Passwortsteuerfunktion.

6, Erwärmungsgeschwindigkeit ≤ 30 ° C / min (empfohlene Erwärmungsgeschwindigkeit ≤ 10 ° C / min), kann 30 Abschnitte des automatischen Erwärmungsverfahrens erstellen, steuerbare Siliziumsteuerung, mit digitalen LED-Spannungsmessern und Stromzählern ausgestattet.

Optional mit RS-485-Kommunikationsschnittstelle, Datenverwaltungssoftware, Papierlose Aufzeichnung von historischen Daten und Erwärmungskurven, Korrektur von Temperaturabweichungen von Fehlern, kann mehrere Geräte und Remote-Fehlerbehebungsanalyse verwalten.

8, verschiedene Sicherheitsschutzdesign, gute Sicherheitsleistung und lange Lebensdauer.

9, der Elektroofen kann das Vakuum pumpen, die Atmosphäre durchlässt, der Vakuumgrad kann 10pa (mechanische Pumpe) erreichen, wenn ein höheres Vakuumgrad erforderlich ist, kann die Molekularpumpe ausgewählt werden, um 6,67x10-3pa zu erreichen.


Standardkonfiguration:

1, 304 Edelstahlflansch 1 Satz

2. 4 Dichtungsringe

3, Stecker 2 Stück

4, Ofen 1 Stück

5, Anleitung, Garantiekarte, Zertifikat 1 Satz

6, Quarzrohr oder Korundrohr 1 Stück


Hochvakuumpumpengruppe (Molekularpumpe)


GR-620 / GR-500F-Serie Composite Molecular Pump Unit ist eine saubere Ultra-Hochvakuum-Erhaltung von Geräten aus F160 / 620-Serie verschiedene Leistung Composite Molecular Pump oder FF-160 / 500F-Serie Composite Molecular Pump, Vorpumpe, Trennventil, Vorleitung, Wasserschützer, Molekularpumpe-Stromversorgung, Hochvakuum-Detektionssystem (Composite Vacuum Meter), Steuerstromversorgung usw. auf dem Rack montiert. Einfache Installation, einfache Bedienung, einfache Anbindung und zuverlässige Leistung können in allen Bereichen der Oberflächenanalyse, Beschleunigertechnologie, Halbleitergeräte, Plasmatechnik, Herstellung von Elektrovakuumgeräten und Vakuumtechnologie weit verbreitet werden.

Technische Eigenschaften der FJ-620 Molekularpumpe:

Produktmodell

GR-620

Lufteingangsflansch

DN160LF

DN160CF

Pumpgeschwindigkeit L/S (gegen Luft)

600

Kompressionsverhältnis N2

H2

>109

6&mal; 103

Empfohlen, Druck zu starten

< 100 Pa

Grenzdruck (Pa)

6&mal; 10-6

6&mal; 10-7

Abgasflansch

KF25 und KF40

Verwendung von Lagern

Präzisionslager

Eingangsspannungsfrequenz (V/Hz)

220&plusmn; 20/50

Umgebungstemperatur (℃)

0~40

Vorderpumpe Modell

RVP-6

Nominale Arbeitsdrehungen (rpm)

42,300

Kühlungsart

Wasserkühlung

Kühlwasserdruck (MPa)

0.1-0.2

Kühlwassertemperatur (℃)

<25

Installationsmethode

Belieblich

Gewicht (kg)

52

Länge & Zeiten; Breite & Zeiten; hoch

730&mal; 520&mal; 700

Gewicht

117

Gasversorgungssystem

Massenflussmesser und Mischbehälter aus Edelstahl sind in einem mobilen Schrank installiert, der 1000lbs tragen kann, die Durchflusseinstellungen und die Zustandsanzeige der Gaswege in jedem Kanal sind auf dem Touchscreen konzentriert und gleichzeitig die Gasdurchflusskurven und -daten in Echtzeit anzeigen können.

&middot; Standard-Messbereich: 100sccm, 200sccm, 200sccm, 500sccm (kann angepasst werden)

&middot; Qualitätsflussregler:

(1) Arbeitsspannung: AC 220V / 50Hz

(2) Betriebstemperatur: 5-45 ℃

(3) Arbeitsdruck: 3 & Times; 106 Pa

Ausgangsleistung: 23W

Genauigkeit: &plusmn; 1.5%FS

(6) linear: &plusmn; (0.5-1.5)%F.S

(7) Wiederholungsgenauigkeit: &plusmn; 0.2%F.S

(8) Reaktionszeit: Gaseigenschaften: 1-4 Sekunden, elektrische Eigenschaften: 10 Sekunden

(9) Arbeitsdruckdifferenzbereich: 0,1-0,5 MPa

&middot; PLC-Touchscreen:

Die Einstellung und Anzeige der Luftwege aller Kanäle sind auf dem Touchscreen konzentriert, können optional mit RS485-Kommunikationsschnittstelle und PC-Temperaturkontrollsoftware an den Computer angeschlossen werden, um die Fernsteuerung zu ermöglichen

&middot; Mechanisches Druckmesser: Messbereich: -0.1-0.15MPa

&middot; Nadelventil: 316 Edelstahl

&middot; Rohrteile: Innere Verbindungsleitung ist 1/4 "Tetrafluorrohr, äußere Belüftungsleitung ist 1/4" Tetrafluorrohr

&middot; Gasmischbehälter: &Phi; 80&times; 120mm

&middot; Abschlussventil: 316 Edelstahl Nadelventil & Phi; 1/4 "

&middot; Produktspezifikationen: 600&times; 745&times; 700mm

GR.TFSerie Vakuumrohrofen Modelle und Spezifikationen

Modell

Ofengröße (mm)

(LxBxH)

Leistung

(KW)

Temperatur

(℃)

Nenntemperatur

(℃)

Heizungselemente

Spannung

(V)

GR.TF60/11

Φ60×1000

4

1100

1000

Cantell Widerstandsdraht

220

GR.TF80/11

Φ80×1000

4

1100

1000

Cantell Widerstandsdraht

220

GR.TF100/11

Φ100×1000

4

1100

1000

Cantell Widerstandsdraht

220

GR.TF150/11

Φ150×1000

5

1100

1000

Cantell Widerstandsdraht

220

GR.TF200/11

Φ200×1000

6

1100

1000

Cantell Widerstandsdraht

220

GR.TF60/14

Φ60×1000

6

1400

1300

Siliziumkahlstoffstangen

220

GR.TF80/14

Φ80×1000

6

1400

1300

Siliziumkahlstoffstangen

220

GR.TF100/14

Φ100×1000

7

1400

1300

Siliziumkahlstoffstangen

220

GR.TF60/16

Φ60×1000

7

1600

1500

Silizium-Molybdenum-Stäbe

220

GR.TF80/16

Φ80×1000

7

1600

1500

Silizium-Molybdenum-Stäbe

220

GR.TF100/16

Φ100×1000

7

1600

1500

Silizium-Molybdenum-Stäbe

220

GR.TF60/18

Φ60×1000

7

1800

1700

Silizium-Molybdenum-Stäbe

220

GR.TF80/18

Φ80×1000

9

1800

1700

Silizium-Molybdenum-Stäbe

380

GR.TF100/18

Φ100×1000

9

1800

1700

Silizium-Molybdenum-Stäbe

380