Olympus optisches Messmikroskop

Olympus optisches Messmikroskop
Olympus optisches Messmikroskop

Das zuverlässige STM7-Messmikroskop

Auf der Grundlage der jahrhundertelangen Olympus-Technologie

Die STM7-Serie von Messmikroskopen basiert auf der Technologie von Olympus und basiert auf mehr als einem Jahrhundert Erfahrung in der Entwicklung von Mikroskopen und über 50 Jahren Erfahrung in der Entwicklung von Messmikroskopen.

• Die optische Technologie ermöglicht eine realistische Bildgebung von sehr feinen Proben.

• Die Messtechnik ermöglicht eine genaue Messung der Probe.

• Die Autofokussierung und die Fokus-Navigation machen die Messung einfacher und präziser.

• Ein umfassendes Rückverfolgungssystem ermöglicht zuverlässige und zuverlässige Messungen.

Daher ist das Olympus Messmikroskop seit Jahren bei den Anwendern sehr beliebt.

STM7Genaue Messungen durch die Integration des optischen Mikroskops und der Messkapazität*

Langjährige Erfahrung in der Entwicklung von Mikroskopen ermöglicht eine hervorragende Beobachtungsleistung

Olympus Messmikroskop STM7Die Serie nutzt das in den aktuellen optischen Mikroskopen verwendete optische System UIS2 Infinite Distance Correction. Daher haben die beobachteten Bilder eine hohe Auflösung und einen hohen Kontrast, und darüber hinaus werden Bildabweichungen eliminiert, um eine hochpräzise Messung von kleinen Details zu gewährleisten.

Lichtfeldbild Dunkelfeldbild

Differential-Interferenz-Bild Polarisiertes Bild

Die fein gefertigte Tragstelle aus Granit erhöht die Zuverlässigkeit der Messung

Um die Messgenauigkeit weiter zu gewährleisten, verwendet die STM7-Serie einen hochhaltbaren und vibrationssicheren Spiegelrahmen mit einem Granitboden. Durch die hohe Stabilität des Granits können Messungen auf Submikron-Ebenen erreicht werden und gleichzeitig eine erhebliche Reduzierung der Fehler gewährleistet werden.

STM7-LF FEM-Analyse

Als Pionier im Bereich der Höhenmessung bietet wir weiterhin eine hohe Präzision, die einfach zu bedienen ist3Achsmessung

Mit der zunehmenden Miniaturisierung und Präzision der modernen Fertigungstechnik wird auch eine hochpräzise Messung von Bedeutung – nicht nur die Messung der XY-Achsebene, sondern auch die hochpräzise Messung der Z-Achsrichtung. Olympus entwickelt erfolgreichMessmikroskopeUnternehmen, die Autofokussysteme mit aktiver Reflexion und Kofokussierung einsetzen, reagieren auf diese steigende Nachfrage.

Aktive Reflexion, Kofokussierung Autofokussierungssystem Optik

Strenge Rückverfolgbarkeit gewährleistet Qualitätssicherheit

Olympus steuert die Präzision des Messmikroskops durch ein strenges nachverfolgbares System. Auch bei der Installation des Systems bietet Olympus nachverfolgbare Kalibrierungsdienste an.

Messmikroskopisches Rückverfolgungssystem

STM7Die Aufstellung

Jedes Modell ist mit einem 3-Achsen-Messsystem mit einer Messung von 0,1 μm ausgestattet

Manuelle Z-Achse-Fokussiermaschine

STM7-SF

Ausgestattet mit 50mm x 50mm oder 100mm x 100mm

STM7-MF

Tragstisch mit 200mm x 200mm

STM7-LF

Tragstisch mit 300mm x 300mm

Elektrische Z-Achse-Fokussiermaschine

STM7-SFA

Ausgestattet mit 50mm x 50mm oder 100mm x 100mm

STM7-MFA

Tragstisch mit 200mm x 200mm

STM7-LFA

Tragstisch mit 300mm x 300mm

STM7Einfachheit im Design sehr wichtig

Für Ihre Probengröße geeignete Tragstelle

Häufig gestellte Fragen

·Kurze Messstrecken können die Messanforderungen größerer Proben nicht erfüllen.

·Bisher bieten große Tragstische ausreichende Messstrecken in Richtung der X-Achse, aber die Y-Achse ist immer noch kleiner. Während der Messung muss die Probe gedreht werden, um einen kürzeren Y-Achsweg als die X-Achsabdeckung zu kompensieren, was zeitaufwendig und nicht effizient ist.

·Aufgrund des engen Messbereichs ist es nicht möglich, eine größere Anzahl von Proben inLaststelleUm eine einmalige gleichzeitige Messung zu ermöglichen.

STM7Lösung

·Tragstische mit insgesamt vier* quadratischen Messstrecken zur Auswahl (50 mm x 50 mm, 100 mm x 100) mm,200 mm x 200 mm, und 300 mm x 300 mm). Egal ob es sich um große oder kleine Proben handelt, es gibt immer eine Tragstelle, die für die Probe geeignet ist, die Sie messen möchten.

·Das Kupplungssystem ermöglicht einen schnellen Wechsel zwischen grober und feiner Einstellung. Mit dieser Schaltfunktion kann sich der Tragstisch auch schnell entlang der X- und Y-Achse bewegen und auf der XY-Ebene frei bewegen.

·Ein 300 mm langer quadratischer Tragstisch ermöglicht den gleichen Messgang in Richtung der X- und Y-Achse, was bedeutet, dass die gesamte Messung großer Proben wie 300 mm Wafer und Leiterplatten ohne Proben zu drehen möglich ist.

STM7-CS50 (50mm x 50mm) STM7-CS100 (100mm x 100mm)

STM7-CS200 (200 mm x 200 mm) STM7-CS300 (300 mm x 300 mm)

Niedrige und hohe Vergrößerungsbeobachtungen mit dem gleichen Mikroskop

Häufig gestellte Fragen

·Die meisten herkömmlichen Messmikroskope können nur Objektive oder Metallphasen messen.ObjektiveViele Beobachtungsanforderungen können nicht gleichzeitig erfüllt werden.

STM7Lösung

·Mit dem STM7 können Messobjektive verwendet werden, indem ein Messobjektiv-Adapter installiert wird und ein metallisches Objektiv ersetzt wird, wenn das Objektiv gedreht wird. Das bedeutet, dass das STM7 das Metallphaseoptiksystem und das Messoptiksystem gleichzeitig in einem Messmikroskop kombiniert. Auf diese Weise kann die STM7-Serie den Beobachtungsmethoden entsprechen und den Benutzern bei der Auswahl unterstützen, ob es sich um die Messung großer oder feiner Proben oder Proben mit hohen Oberflächenunterschieden handelt.

Messobjekte

Da die Messobjekte sehr lange Arbeitsabstände aufweisen, können Sie sich bei der Fokussierung auf größere Proben ohne Sorgen über den Kontakt zwischen dem Objektiv und der Probe konzentrieren. Darüber hinaus können durch die geringe Vergrößerungsfähigkeit des Messobjektivs größere Sichtfelder gleichzeitig beobachtet werden.

können undOptisches MikroskopVergleichbar hohe Vergrößerungsraten und hohe Auflösungsbeobachtungsfähigkeit. Noch wichtiger ist, dass neben der Lichtfeldbeobachtung auch Dunkelfeld-, Polarisations- und Differenzialinterferenzbeobachtungen korrespondieren können.

Goldene Objekte

Lichtfeldbild Dunkelfeldbild

Option zwischen manueller und elektrischer Fokussierung

STM7Die Serie umfasst zwei Serien Manueller und Elektrofokussierung

Die Fokussteuerung bietet manuelle und elektrische Optionen. Bitte wählen Sie auf der Grundlage von Proben und Messungen das Modell aus, das Ihren Bedürfnissen entspricht, ohne die Größe der Tragstelle zu berücksichtigen. Alle Spiegelrahmen verfügen über ein eingebautes Z-Axialmesser und alle Modelle STM7 können 3-Achsen-Messungen ermöglichen.

Manuelle Z-Achse-Fokussiermaschine

Das manuelle Z-Axis-Fokusmodell bietet einen kostengünstigen Vorteil – durch die Bedienung eines weit verbreiteten Fokusknopfes kann die Z-Achse schnell nach oben und unten bewegt werden. Bequemlichkeit für die Messung von Proben mit verschiedenen Höhen.

Elektrische Z-Achse-Fokussiermaschine

Der Einsatz eines elektrischen Fokussiergerätes kann die Betriebsfähigkeit erheblich verbessern und die Betriebsmüdigkeit bei der Fokussierung und Höhenmessung reduzieren. Das coaxiale Knopfdesign ermöglicht es dem Benutzer, auf eine gewohnte, manuelle Weise zu arbeiten, während ein elektrisches Modell auch mit einer Autofokusseinheit ausgestattet sein kann.

Eine bahnbrechende Steuereinheit verbessert die Betriebsfähigkeit des Messmikroskops erheblich

Häufig gestellte Fragen

·Weitere Funktionen erfordern zusätzliche Bedieneinheiten. Der Bediener kann die entsprechende Bedieneinheit nicht schnell finden, was die Messeffizienz erheblich reduziert.

·Viele Bedieneinrichtungen und Stromversorgungsboxen und Steuerboxen sind um den Host herum verteilt und nehmen wertvollen Arbeitsplatz ein.

STM7Lösung

Bedieneinrichtung

Bei den Olympus Messmikroskopen der Serie STM7 können praktisch alle Messmikroskopvorgänge, einschließlich der Zurücksetzung des Zählers, der Beleuchtungssteuerung, der Fokussierung und der Autofokussierung, mit einer einzigen Bedieneinrichtung durchgeführt werden. Um die Effizienz und den Komfort zu erhöhen, können Sie das Gerät an jedem beliebigen Ort platzieren und einfach mit einer Hand bedienen.

Kontrollbox

Die Stromversorgung und Kommunikation der einzelnen Einheiten sind in einem einzigen Steuerkasten integriert. Selbst durch das Hinzufügen von optionalen Funktionen wie der fokussierten Navigation werden keine zusätzlichen Stromversorgungsgeräte benötigt, wodurch der Arbeitsplatz erheblich reduziert wird.

Für manuelle Z-Achs-Fokussiermaschinen: STM7-HS manuelle Bedienung

Für elektrische Z-Achs-Fokussiermaschinen: Elektrobetrieb STM7-MCZ

Lichtquellenmanager, der die Beobachtungs- und Messeffizienz erheblich verbessert

Häufig gestellte Fragen

·Die analoge Knopfeinstellung mit herkömmlichen Messmikroskopen ermöglicht keine quantitative Kontrolle der Lichtintensität. So kann die Lichtintensität bei jeder Messung nicht konsistent bleiben, was zu einer Änderung der Messwerte führt.

·Bei herkömmlichen Messmikroskopen muss die Lichtintensität nach jedem Objektivwechsel angepasst werden, was den Arbeitsablauf sehr ineffizient macht.

STM7Lösung

Digitale Anzeige, die die Helligkeit der Lichtquelle quantitativ erfasst

Die Lichtintensität des STM7 kann quantitativ angezeigt werden, so dass Beobachtungen und Messungen immer unter den gleichen Bedingungen durchgeführt werden können.

Beim Wechsel der Objektive muss die Lichtintensität nicht manuell eingestellt werden
Der Lichtintensitätsmanager kann mit einer codierten Objektivdrehplattenkonfiguration verwendet werden. Die Drehplatte mit codiertem Objektiv erkennt automatisch die aktuell verwendeten Objektive und ermöglicht in Kombination mit den Standardwerten des Lichtquellenmanagers die Beleuchtung und Lichtintensität jedes Objektivs. So kann die Lichtintensität und die Beleuchtung jedes Mal nach dem Wechsel des Objektivs automatisch angepasst werden. Die manuelle Einstellung der Lichtintensität nach jedem Wechsel der Vergrößerung kann jetzt weggelassen werden.

5xObjektiv Lichtstärke 50 20x Objektiv Lichtstärke 70 100x Objektiv Lichtstärke 120

Ein abnehmbarer Zähler kann an jedem beliebigen benutzerfreundlichen Ort platziert werden, um sicherzustellen, dass Messergebnisse und Gerätezustand jederzeit schnell überprüft werden können.

Häufig gestellte Fragen

·Es ist notwendig, den Betriebszustand der Geräte wie den Beleuchtungszustand sowie die Messergebnisse zu überprüfen, da die Anzeige auf verschiedenen Einheiten den Betrieb sehr aufwendig macht.

STM7Lösung

Zähler, der den aktuellen Status auf einen Blick bestätigt

Der Zähler ist mit einer Anzeigelampe ausgestattet, die den Zustand und die Einstellungen des Geräts anzeigt, um den aktuellen eingestellten Zustand des Geräts einfach zu bestätigen. Kleine Einheiten für die X-, Y- und Z-Achsen können zwischen 0,1 μm und 1 μm gewechselt werden, zusätzlich können Anzeigeeinheiten zwischen mm, Mikron, Zoll und Mill gewechselt werden.

Der Zähler wird auf dem Spiegelrahmen montiert

Frei platzierbare Zähler für individuelle Anforderungen

Ob auf einem Spiegelrahmen oder auf einem Arbeitstisch montiert, der abnehmbare Zähler kann je nach Bedingungen und Gebrauchsgewohnheiten des Benutzers an einer bevorzugten Stelle platziert werden. Wenn der Benutzer zur Messung steht, kann der Zähler auf der Seite des Spiegels in etwa der gleichen Höhe wie die Beobachtungsposition montiert werden, um die Beobachtung und Prüfung zu erleichtern. Wenn der Benutzer über eine Digitalkamera auf dem Monitor beobachtet und messt oder ein elektrisches Z-Achsen-Fokusmodell verwendet, kann er einfach auf dem Stuhl sitzen, indem er den Zähler und die Bedieneinrichtung auf den Arbeitstisch legt.

Zähler auf den Arbeitstisch platziert

Wiederholbarkeit des Autofokussystems

Schnellere, einfachere und präzisere Höhenmessungen

Häufig gestellte Fragen

·Bei visuellen Messungen messen unterschiedliche Bediener unterschiedliche Höhenmesswerte. Darüber hinaus ist diese Messmethode sehr zeitaufwendig und ineffizient.

STM7Lösung

Ein wiederholbares, einfaches und hochpräzises Fokussierungssystem*

Durch die Projektion von Mustern im Sichtfeldbereich und die Bestätigung der Übereinstimmung von Mustern oben und unten durch den Bediener ermöglicht das fokussierte Navigationssystem von Olympus eine wiederholbare Höhenmessung. Bei einer normalen optischen Höhenmessung können auch sehr klare, bereits fokussierte Bilder kleine Fehler auftreten. Mithilfe des fokussierten Navigationssystems STM7 können Messungen nur mit passenden Markierungen durchgeführt werden, was den Einfluss der Subjektivität des Bedieners auf die Messergebnisse verringert.

Visuelle Höhenmessung

Fokussiertes Navigationssystem

Fokus unter Fokus Position über Fokus

Die Vorteile der Autofokussierung ermöglichen eine schnelle und präzise Höhenmessung

Häufig gestellte Fragen

·Bei visuellen Messungen können die Höhenmessungen unterschiedlicher Bediener erzielt werden.

·Die manuelle Höhenmessung erfordert, dass der Bediener wiederholt den Trägerstand bewegt, indem er den Knopf fokussiert, was die Messung zeitaufwendig und ineffizient macht.

·Es ist schwierig, sich auf kleine Objekte wie Leitungen zu fokussieren.

STM7Lösung

Autofokuseinheit: Ausgezeichnete Reproduzierbarkeit und Fokussgeschwindigkeit

Unabhängig von der Erfahrung des Bedieners ermöglicht die Autofokussierungseinheit STM7 eine hochpräzise Höhenmessung in kurzer Zeit. Selbst bei rauen oder geneigten Probenoberflächen kann eine stabile Fokussierung durch aktive Reflexion und Kofokussierung erreicht werden, während Laser mit kleinen Durchmessern die Autofokussierung von kleinen Objekten wie Leitungen gewährleisten können.

Einzelfokus-Modus

Nach der Ausführung der Autofokussierung kann sofort eine klare Fokussierung vom ungefähren Fokuszustand in die Mitte des Sichtfeldes abgeschlossen werden.

Verfolgungsmodus

Die Aktivierung des charakteristischen Tracking-Modus ermöglicht den automatischen Fokus auf den Höhen und Tiefen der Probenoberfläche, so dass der Fokus auch bei Bewegungen des Arbeitstisches stets erhalten bleibt. Dies ermöglicht es dem Bediener, Beobachtungen auch ohne den X- und Y-Griff zu verlassen, wodurch die Messeffizienz der Z-Achse verbessert wird.

Zubehör zur Erweiterung des Beobachtungs- und Messbereichs

Drehscheibe mit codiertem Objektiv

Durch die Kombination eines codierten Objektivs mit einer Digitalkamera wird die Vergrößerung des Objektivs während der Beobachtung auf dem Bildschirm angezeigt, um die Vergrößerung zu erfassen. Beim Wechsel der Vergrößerung können die Einstellungen auch an die in der Software aufgezeichneten Kalibrierungswerte und Lichtintensitätsverbindungen angepasst werden. Sie können zwischen hellen und dunklen Objektiven wählen

MM6-EMO / Genau wie ein Monoglas

Stehendes Bild mit Einglas. Kompatibel mit der MM6-OCC10× (Brille mit Kreuzlinien).

STM7-FS/ Fußschalter

Die Datenübertragung ist nicht mit der Hand erforderlich und ermöglicht es dem Bediener, Messungen ohne die Hand von den X- und Y-Griffen zu verlassen.

SZ-LW61 / Weiße LED-Beleuchtung

Es hat kleine, leichte, lange Lebensdauer, niedrigen Stromverbrauch und andere Merkmale. Darüber hinaus ist diese kostengünstige LED-Beleuchtung ohne Blinken und Helligkeitsschwankungen.

SZX2-ILR66 + SZX-RHS / LED-Ringbeleuchtung + manuelle Steuerung

Die manuelle Steuereinheit SZX-RHS ermöglicht eine viersegmentige unabhängige Beleuchtung der reflektierenden LED-Ringbeleuchtung SZX2-ILR66 und liefert ein klares Bild mit höheren Farbtemperaturen. Beleuchtung kann aus 13 Modi ausgewählt werden.

Drehträger

Eine parallele Ausrichtung der Probe ist mit dem Finishknopf einfach möglich.

STM7-RS100 für STM7-CS100 100 mm x 100 mm

STM7-RS200 für STM7-CS200 200 mm x 200 mm Tragständer

STM7-RS300 für STM7-CS300 300 mm x 300 mm Tragstisch

System für mehr Messungen

Messunterstützungssystem

Je deutlicher die Daten und Bilder der Messmikroskop-Ausgabe angezeigt werden, desto einfacher und schneller werden die Messungen durchgeführt. Komplexe Messungen mit höherer Präzision durch die Entwicklung des neuen OlympusMesssoftwareDer Grund liegt. Die Software kann auch in Kombination mit einer Digitalkamera verwendet werden.

Beginnen Sie mit der Messung, sobald Sie die Probe platziert haben – keine parallele Ausrichtung der Probe erforderlich

Direkte Messung

Empfangen von Koordinateninformationen von STM7 zur Messung.

Messung wiederaufrufen

Die nach der Messung oder Berechnung erhaltenen Koordinaten können auch für spätere Messungen verwendet werden. Dadurch wird vermeiden, dass dieselbe Arbeit wiederholt wird, was einen reibungsloseren und effizienteren Arbeitsablauf ermöglicht.

Virtuelle Punktmessung

Durch die Zeichnung von geraden Linien und Kreisen können Kreuzungen, Mittelpunkte, Längen und eine Reihe anderer Messungen gebildet werden, die dann als Referenzpunkte auf dem aufgenommenen Probenbild aufbewahrt werden können.

Ausrichtungsmessungen

Der Ausgangspunkt und die X-Achse können je nach Probe eingestellt werden, so dass Messungen auch dann durchgeführt werden können, wenn die Probe nicht parallel zum Tragstisch ausgerichtet ist.

Die ursprüngliche Achse, die neue Achse.

XZFlächenmessung

Traditionelle Messmikroskope basieren auf der Messung der XY-Ebene, die von unten beobachtet wird. Um auf die Anforderung des Anwenders zu reagieren, die Schnittrichtung von der Seitensicht aus zu messen, hat Olympus in den STM7-BSW die XZ-Flächenmessfunktion eingebaut. Messungen, die früher schwer durchzuführen waren, sind jetzt viel einfacher geworden – zum Beispiel die Messung des Radius des vertikalen Schnitts eines halbkugelförmigen Objekts oder die Tiefenmessung einer Nutze mit gebogenem Boden im Vergleich zu der Basislinie.

Radiusmessung von halbkugelförmigen Proben Höhenmessung zwischen dem Nuttenboden und der Referenzlinie

Aufzeichnung wiederholter Messschritte

Makro-Registrierung

Häufig verwendete Ausrichtungs- und sonstige Messschritte können in einzelnen Makro-Tasten kombiniert und definiert werden, so dass Sie nach jedem Start des Mikroskops nicht von Null beginnen müssen.

Wiederholung der Messung

Durch die einfache Bewegung der Tragstelle nach den Anweisungen der aufgezeichneten Unterrichtsliste und das Erhalten von Koordinatenwerten können Sie einfach wiederholte Messungen durchführen und alle Aufgaben erledigen. Diese Funktion kann verwendet werden, um die gleichen Messvorgänge wiederholt an der gleichen Probe des gleichen Typs durchzuführen. Darüber hinaus kann die Software automatisch feststellen, wenn Einstellungswerte und Toleranzen in der aufgezeichneten Unterrichtsliste festgelegt sind, wenn die Messwerte die Spezifikationen überschreiten.

NG-Ergebnisbeispiel

Wiederholen Sie die Messpunktnavigation, um Messungen durchzuführen

Diese Funktion zeigt die Richtung und die Entfernung der Bewegung zum nächsten Messpunkt an, wodurch der Bediener in dieser Sektion keine Sorgen mehr hat. Diese Funktion erspart auch die Mühe, den nächsten Messpunkt vor jeder Bewegung auf der Zeichnung zu bestätigen, und erhöht die Geschwindigkeit der Bedienarbeit bei wiederholten Messungen.

Bequeme Funktionen zur Beseitigung subjektiver Auswirkungen während des Messprozesses

Automatische Randerkennung

Diese Funktion erkennt die Rande der Probe und erfasst automatisch die Koordinaten der Probe und misst sie. Somit benötigt der Bediener keine Koordinaten mehr, was den Einfluss der Subjektivität des Bedieners auf die Messung verringert. Ein weiteres Merkmal der automatischen Randerkennung ist die Timing-Funktion, die die automatische Erfassung der Koordinaten nach der festgelegten Zeit ermöglicht. Die Timing-Funktion und die Fußschalterfunktion ermöglichen es dem Bediener, konzentriert zu messen, ohne dass die Hand den Griff des Trägerstands verlassen muss.

Automatische Randerkennung innerhalb eines Kreises Mehrpunktautomatische Randerkennung

Beseitigung von Anomalien

Bei der Randerkennung können Anomalien wie Metallstreifen automatisch ausgeschlossen werden. Auf diese Weise wird unabhängig vom Zustand der Probe ein konsistentes Messwertberechnungsergebnis erzielt. Außerdem können ausgeschlossene Ausnahmepunkte in verschiedenen Farben auf dem Bildschirm angezeigt werden.

Proben mit Anomalien Beseitigung von Anomalien

Beleuchtungssteuerung

Auch die Lichtintensität der Mikroskopbeleuchtung kann mit der Software genau gesteuert werden. Bei der Registrierung einer Lehrliste für wiederholte Messungen können auch Lichtintensitätseinstellungen gespeichert werden, so dass Messungen unter den gleichen Beleuchtungsbedingungen bei wiederholten Messungen oder der automatischen Randerkennung durchgeführt werden können.

Automatische Vergrößerungserkennung (optional, nur für Konfigurationen mit codierten Objektivdrehscheiben)

Durch die Verwendung eines codierten Objektivdrehscheibes können beim Wechsel des Objektivs zuvor festgelegte Kalibrierungswerte automatisch aufgerufen werden. Auf diese Weise wird immer die richtige Skala auf dem Monitor angezeigt.

Erstellen eines maßgeschneiderten Berichts

Erstellen von Berichten mit einem Klick

Die Messergebnisse können mit einem Klick im Excel-Format ausgegeben werden, wodurch die Möglichkeit von Fehlern während der Datenaufzeichnung vermieden wird. Bilder können auch mit Messergebnissen eingefügt werden, was eine effizientere Berichterstellung ermöglicht.

Optionale Funktionen: Multi-Image-Splicing (MIA)

Wenn Sie mehrere Bilder zusammenfügen, erhalten Sie ein Wide-Area-Bild mit hoher Vergrößerung. Da das Bild auf der Grundlage von Koordinatendaten zusammengefasst wird, kann das System ein hochzuverlässiges Bild erzeugen.

Optionale Funktionen: Erweiterte Feldtiefe (EFI)

Bei Proben mit ungleichmäßigen und komplexen Oberflächenformen kann die EFI-Funktion sehr effektiv ein Bild mit guter Fokussierung im gesamten Höhenbereich erzielen. Mit der EFI-Funktion werden mehrere Bilder in verschiedenen Fokusstellungen mit der Z-Achse bewegt, die anschließend verarbeitet werden und zu einem vollfokussierten Bild zusammengefasst werden. Bei Verwendung eines elektrischen Z-Achsmoduls ist eine automatische Bildsynthese mit einem Klick möglich.