Single Target Magnetron Spritzbeschichtung

Diese Single-Ziel Magnetron SpritzbeschichtungEinen Satz von Magnetronen, ein Satz300 W RF-Sputterstromversorgung (oder eine 500 W Gleichstrom-Sputterstromversorgung oder eine 100 W Unterspannungsversorgung). Bei der Beschichtung können Sie nach Bedarf manuell an die Gleichstromspritzversorgung, die Teilspannungsversorgung und die RF-Spritzversorgung angeschlossen werden. Es kann auch nach Kundenbedürfnissen drehbarer Probenstisch, beheizter Probenstisch, multifunktionaler Probenstisch konfiguriert werden, die gesamte Maschine ist kostengünstig und ideal für die Herstellung einer Vielzahl von Metall- (oder Nicht-Metall) -Filmbeschichtungen, die mit einer Vielzahl von Metallzielen und Vakuumsystemen ausgerüstet werden können.
Technische Parameter

Eingangsstromversorgung: 220VAC 50/60Hz

Spritzstrom: 0-150 mA einstellbar

3, Gesamtleistung: <2KW

Ausgangsspannung: ≤ 1600VDC

5, Spritzkammer: mit Quarzkammer, Größe: 166mm OD x 150mm ID x 290mm H

6, Vakuumdichtung: O-förmige Dichtringsdichtung

7, Magnetron-Ziel: 2 Zoll mit wasserkeltem Magnetron-Spritzkopf, kann auch nach Bedarf 1 Zoll Magnetron-Ziel ausgewählt werden

8, Probe Tisch: Durchmesser 50mm Edelstahl Probe Tisch, Probe Tisch drehbar, Drehzahl 0-5 RPM, und entworfen mit manueller Bedienung Spritzblech, der Abstand zwischen Probe Tisch und Zielkopf kann angepasst werden, Regelbereich: 30-80mm

9, ausgestattet mit Zielkopfstütze, kann der Spritzkopf im Nicht-Spritzzustand platziert werden

10, Spritzfläche: 4 Zoll

Vakuumsystem: Installiert mit der KF25-Vakuumschnittstelle, digitalem Vakuumdruckmesser (Pa), erfordert der Betrieb dieses Systems ArGas, und auf der Gasflasche ist ein Druckminderventil installiert (nicht im Gerät enthalten), können verschiedene Vakuumpumpen nach den spezifischen Bedürfnissen des Kunden ausgewählt werden und nach der tatsächlichen Lieferung berechnet werden.

12, Einluft: mit einem Nadelventil zur Steuerung des Einlufts und einem Entluftungsventil muss ein Druckdämpfungsventil installiert werden (ein Druckdämpfungsventil kann in unserem Unternehmen erworben werden)

13, Zielgrößenanforderungen: Φ50mmx (0,1-2,5) mm (Dicke), geeignet für das Spritzen von Au, Ag, Cu, Al, Ti und anderen Metallen (kann in unserem Unternehmen erhältlich sein) Für das Spritzen verschiedener Metallziele müssen Sie * die idealen Spritzparameter ausprobieren, die folgende Tabelle ist die von unserem Experiment festgelegte Parameter

Manchmal, um die ideale Filmdicke zu erreichen, ist eine mehrmalige Spritzbeschichtung erforderlich. Stellen Sie vor der Spritzbeschichtung sicher, dass der Spritzkopf, das Ziel, die Substrate und die Probentasche sauber sind, um eine gute Verbindung zwischen dem Film und dem Substrat zu erreichen. Bitte waschen Sie die Substratoberfläche mit Ultraschall vor dem Spritzen.

15. Substratreinigung

(1) Aceton-Ultraschallreinigung → Isopropanol-Ultraschallreinigung Entfernung von Öl → Blasen von Stickstoff Trocknung → Vakuumofen Entfernung von Feuchtigkeit

（2Plasmareinigung: kann die Oberfläche rau werden, kann die chemische Bindung der Oberfläche aktivieren, kann zusätzliche Schadstoffe entfernen, um eine dünne Pufferschicht (5 Nanometer oder so): wie Gr, Ti, Mo, Ta, können zur Verbesserung der Haftung von Metallen und Legierungen angewendet werden Diese Spritzbeschichtungsmaschine kann in Ar oder N2 Gas Handschuhkosten gespritzt werden.