Kleine Single-Target Magnetron Spritzbeschichtung

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Kurze Einführung: Kleine Single-Ziel-Magnetron-Spritzbeschichtung ist eine hochleistungsfähige Magnetron-Spritzbeschichtung, die von unserem Unternehmen selbst entwickelt wurde, mit Miniaturisierung und Standardisierung. Magnetrone Ziele haben 1 Zoll, 2 Zoll zur Auswahl, können die Kunden unabhängig von der Größe der beschichteten Substrate wählen

Produktdetails

Details:

Kleine Single-Ziel-Magnetron-Spritzbeschichtung ist eine hochleistungsfähige Magnetron-Spritzbeschichtung, die von unserem Unternehmen selbst entwickelt wurde, mit Miniaturisierung und Standardisierung. Magnetrone Ziel hat 1 Zoll, 2 Zoll zur Auswahl, können die Kunden unabhängig von der Größe der beschichteten Platte wählen; Die mitgelieferte Stromversorgung ist eine 150W Gleichstromversorgung, die für die Metallsputterbeschichtung verwendet werden kann. Das Beschichtungsgerät ist mit einer Belüftungsschnittstelle ausgestattet, die zum Schutzgas zugeführt werden kann, und wenn der Kunde eine Gasmischung benötigt, kann er sich an das Personal wenden, um ein hochpräzises Massenflussmesser selbst zu konfigurieren, um die experimentellen Anforderungen zu erfüllen. Das Gerät ist standardmäßig mit einem fortschrittlichen Turbomolekularpumpenset mit einem Endvakuum von 1,0 E bis 5 Pa ausgestattet, während andere Arten von Molekularpumpen erhältlich sind.

Kleine Single-Target Magnetron SpritzbeschichtungAnwendungsbereich:

Dieses Gerät kann zur Herstellung von einschichtigen ferroelektrischen Folien, leitfähigen Folien, Legierungsfilmen usw. verwendet werden. Dieser Single-Ziel-Magnetron-Spritzbeschichtungsgerät ist im Vergleich zu ähnlichen Geräten miniaturisiert, hochintegriert und kompakt, kann auf dem Tisch platziert werden und ist eine ideale Ausrüstung für die Vorbereitung von Materialfolien im Labor.

Kleine Single-Target Magnetron SpritzbeschichtungTechnische Parameter:

Kleine Single-Target Magnetron Spritzbeschichtung
Probentesch	Größe	φ138mm	Temperaturgenauigkeit	±1℃
Probentesch	Heiztemperatur	* hoch500℃	Drehgeschwindigkeit	1-20rpmEinstellbar
Magnetron Spritzkopf	Anzahl	2” x1（1”,2”Optional)	Wasserkühler Spezifikationen	10L/minKreislaufwasserkühler mit Durchflussgeschwindigkeit
Magnetron Spritzkopf	Kühlungsart	Wasserkühlung
Vakuumkammer	Kammergröße	φ180mm × 215mm	Beobachten Sie das Fenster	Vollständige Transparenz
Vakuumkammer	Gehäusematerial	Hochreiner Quartz	Öffnen	Abnehmbare Deckel
Vakuumsystem	Produktmodell	CY-GZK103-A	Pumpenschnittstelle	KF40
	Molekularpumpe	CY-600	Abgasschnittstelle	KF16
	Vorpolpumpe	Rotationspumpen	Vakuummessung	Kompositvakuummeter
	Endvakuum	1.0E-5Pa	Stromversorgung	AC;220V 50/60Hz
	Pumpgeschwindigkeit	Molekularpumpe:600L/S Rotationspumpen:1.1L/S Integrierte Pumpenleistung:20Minute Vakuum erreichbar:1.0E-3Pa
Stromversorgung	Anzahl	Gleichstromversorgung×1	* Große Ausgangsleistung	150W
Sonstiges	Versorgungsspannung	AC220V,50Hz	Gesamtgröße	500mm × 350mm × 400mm
	Gesamtleistung	1.7KW (Vakuumpumpenrichtung 1.5KW + 0.2KW)	Gesamtgewicht	30kg

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