Kurze Beschreibung: Produktbeschreibung: CY-600-3HD Drei-Ziel-Magnetron-Spritzbeschichtungsmaschine ist ein kostengünstiges Magnetron-Spritzbeschichtungsmaschine, das von unserem Unternehmen selbst entwickelt wurde und verwendet werden kann, um eine oder mehrere Schichten ferroelektrischer Folie, leitfähige Folie, Legierungsfilm, Halbleiterfilm, Keramikfilm, Mediumfilm, optische Folie, Oxidfilm, harte Folie, Tetrafluorethylenfilm usw. herzustellen. Dieser Drei-Ziel-Magnetron-Spritzbeschichtung im Vergleich zu ähnlichen Geräten ist nicht nur weit verbreitet, sondern hat auch die Vorteile eines kleinen Volumens für die Bedienung, ist eine ideale Ausrüstung für die Vorbereitung von Materialfilm im Labor, insbesondere für die Laborforschung von Festkörperelektrolyten und OLEDs.
Details:
Produktbeschreibung:CY-600-3HD Drei-Ziel-Magnetron-Spritzer ist ein kostengünstiges Magnetron-Spritzer-Beschichtungsgerät, das von unserem Unternehmen selbst entwickelt und entwickelt wurde. Es kann verwendet werden, um eine oder mehrere Schichten ferroelektrischer Film, leitfähige Film, Legierungsfilm, Halbleiterfilm, Keramikfilm, Medienfilm, optische Film, Oxidfilm, harte Film, Tetrafluorethylenfilm usw. herzustellen. Im Vergleich zu ähnlichen Geräten ist es nicht nur weit verbreitet, sondern hat auch die Vorteile der kleinen Größe und der einfachen Bedienung, ist es eine ideale Ausrüstung für die Herstellung von Materialfilm im Labor, insbesondere für die Laborforschung von Festkörperelektrolyten und OLEDs.
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Produktmodell
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Drei-Ziel-Magnetron-Spritzer(CY-600-3HD)
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Installationsbedingungen
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Diese Ausrüstung erfordert die Verwendung unter einer Höhe von 1000m, einer Temperatur von 25 ℃ ± 15 ℃, einer Feuchtigkeit von 55% Rh ± 10% Rh.
Wasser: Die Ausrüstung ist mit einer Selbstkreislaufkühlmaschine ausgestattet (reines Wasser oder deionisiertes Wasser hinzufügen)
Strom: AC220V 50Hz, muss eine gute Erdung haben
3. Gas: In der Ausrüstungskammer muss Argon gefüllt werden (Reinheit über 99,99%), eine eigene Argon-Gasflasche (mit Ø6mm Doppelkartenstück) und ein Druckdämpfungsventil benötigt werden
4, Arbeitstisch: Größe 1500mm x 600mm x 700mm, Gewicht von mehr als 200kg
5. Entlüftung: erforderlich
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Hauptmerkmale
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1. Konfigurieren Sie drei Zielpistolen, eine unterstützende HF-Stromversorgung für die Spritzbeschichtung eines nicht leitfähigen Ziels, zwei unterstützende Gleichstromversorgung für die Spritzbeschichtung eines leitfähigen Materials (die Zielpistole kann nach Bedarf des Kunden beliebig ausgetauscht werden).
2, kann eine Vielzahl von Filmen vorbereitet werden, weit verbreitet.
3, kleine Größe, einfache Bedienung.
4, die gesamte Maschine modulares Design, Vakuumkammer, Vakuumpumpe, Steuerung der Stromversorgung Split-Design, kann den tatsächlichen Bedürfnissen des Benutzers angepasst werden.
5, kann je nach den tatsächlichen Bedürfnissen des Benutzers die Stromversorgung auswählen, kann eine Stromversorgung mehrere Zielpistolen steuern, oder mehrere Stromversorgungen können eine einzige Zielpistole steuern.
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Technische Parameter
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Stromversorgung: 220V 50Hz
2, Gesamtleistung: 2.5KW
3. Limit-Vakuum: <E-6mbar (mit unseren Geräten erreichbar)E-5mbar)
Betriebstemperatur: RT-500 ℃, Genauigkeit ± 1 ℃ (kann die Temperatur nach den tatsächlichen Bedürfnissen erhöhen)
Anzahl der Gewehre: 3
6, Zielpistole Kühlung: Wasserkühlung
Zielgröße: Ø2 ", Dicke 0,1 mm-5 mm (unterschiedliche Dicke aufgrund des Zielmaterials)
8, Gleichstrom-Spritzleistung: 500W (optional)
9, HF-Spritzleistung: 300W / 500W (optional)
10, Probenträger: Ø140mm
11. Drehzahl der Probe: einstellbar innerhalb von 1rpm-20rpm
Schutzgas: Inertgase wie Ar, N2
Zuluftwege: Massenflussmesser steuert 2 Zuluftwege, jeder Durchfluss beträgt 100SCCM
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Produktspezifikationen
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Gastgebergröße: 500mm x 560mm x 660mm, Maschinengröße: 1300mm x 660mm x 1200mm; Gewicht: 160kg
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Standardzubehör
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1
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Gleichstromspannungssystem
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2 Sätze
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2
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Funkversorgungssteuerung
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1 Set
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3
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Membran Dicke Monitor System
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1 Set
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4
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600MolekularpumpeGruppen
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1 Einheit
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5
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Industrielle WasserkühlungMaschine
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1 Einheit
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6
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Kühlwasserrohr (Ø6mm)
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4 Wurzeln
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Optionales Zubehör
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Gold, Indium, Silber, Platin und andere Ziele
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