Helium-Ionen-Chromatometer für Tetrafluorkohlenantalyse

Helium-Ionen-Chromatogrammeter sind für die Detektion von Spuren von Verunreinigungen in Elektronikgasen geeignet, mit einer kleinen Detektionskonzentration von bis zu 5 ppb. Das Gerät ist mit einem hochempfindlichen Helium-Ionisierungs-Detektor ausgestattet, der die Zentralschnitttechnologie von Huawei verwendet, und die Probenventile verfügen über einen Blassschutzluftweg; Die gesamte Maschine ist mehrsäulenförmig und mit einem automatischen Probendruckkorrektursystem ausgestattet

Helium-Ionen-Chromatometer für TetrafluorkohlenantalyseAusgestattet mit einem hochempfindlichen Helium-Ionisierungs-Detektor, mit der Zentralschnitttechnologie von Huaei, sind alle Probenventile mit Blassschutzluftwegen ausgestattet; Die gesamte Maschine ist mit mehreren Säulen ausgestattet und ist mit einem automatischen Eingangsdruckkorrektursystem ausgestattet, um die Eingangsmenge von Proben aus verschiedenen Grundgasen zu gewährleisten. Die Produkte erhielten die Auszeichnung Shanghai High-Tech-Erfolge Umwandlung A-Klasse-Projekt.

Projekte	Indikatoren
Tetrafluorkohlenstoff (CF)4Reinheit (Volumenfraktionen) / 10-2≥	99.999	99.995	99.99
Stickstoff (N)2Gehalt (Volumenfraktionen)/10-6＜	4	20	40
Sauerstoff + Argon (O)2+ Ar) Gehalt (Volumenfraktionen) / 10-6＜	1	5	10
Kohlendioxid (CO)2Gehalt (Volumenfraktionen)/10-6＜	1	5	10
Kohlenmonoxidgehalt (CO) / 10-6＜	0.1	0.5	1
Schwefelhexafluorid (SF)6Gehalt (Volumenfraktionen)/10-6＜	1	1	5
Feuchtigkeit (H)2o) Gehalt (Volumenfraktionen) / Gehalt, 10-6＜	3	5	10
Säure (in HF) Gehalt (Volumenfraktionen) / 10-6＜	0.1	0.3	0.3
Andere HalogenkohlenstoffeaGehalt (Volumenfraktionen)/10-6＜	1	10	30
Gesamtgehalt an Verunreinigungen (Volumenfraktionen) / l0-6 ≤	10	50	10
Partikel	Angebot und Nachfrage vereinbart	Angebot und Nachfrage vereinbart	Angebot und Nachfrage vereinbart
Andere Halogenkohlenstoffe sind: Hexafluorethan, Octafloropropan usw.