Vakuumpumpen mit konstantem Druck

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Produktbeschreibung: weit verbreitet in der Diffusion, Oxidation, Ausdehnung, CVD、 Plasmasputtern und Beschichtungsprozesse, Faserschmelzen, Mischgasverteilungssysteme und andere Analyseinrichtungen.

Produktdetails

KT-PID1000Z ist ein Vakuumkonstangententrollsystem, das verschiedene Modelle von Doppelstufendrehpumpen mit einer Pumpgeschwindigkeit von 4 Kubik-16 Kubik pro Stunde unterstützt. Die Pumpgeschwindigkeit der Vakuumpumpe wird durch ein lineares Ventil gesteuert, um die präzise Messung und die konstante Drucksteuerung des Drucks in der Kammer zu erhalten. Es kann mit unseren Rohröfen, Beschichtungsgeräten, Dichtmaschinen und anderen Geräten kombiniert werden, um die präzise Druckkonstante Steuerung von PVD, CVD und PECVD zu erreichen.

weit verbreitet in der Diffusion, Oxidation, Ausdehnung, CVD、 Plasmasputtern und Beschichtungsprozesse, Faserschmelzen, Mischgasverteilungssysteme und andere Analyseinrichtungen.

Technische Parameter:

Steuerung: PID-Algorithmus

Steuerbereich: 1000Pa-1Pa (Abhängig von der Größe der Kammer, Pumpgeschwindigkeit der Vakuumpumpe)

PID-Regulierung Pumpgeschwindigkeitsbereich: 0-100%

Unterstützte Vakuumpumpe: 4-16 Kubikmeter pro Stunde

Vakuumflansch: KF16 KF25 KF40

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