Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtungssystem

Elektronenstrahlverdampfungsbeschichtungssystem
(E-Beam Verdampfungssystem)
Instrumenteinführung:
Ein professioneller Hersteller in den USA mit über 20 Jahren Erfahrung in: Elektronenstrahlverdampfungsgeräten, magnetronischen Spritzgeräten, Wärmeverdampfungsgeräten usw. Es gibt folgende Funktionsmodelle:
electron beam evaporation， Elektronenstrahl verdampft;
resistive evaporation， Wärmewiderstandsverdampfung;
ion beam assisted deposition (IBAD)， Ionenstrahlhilfe Verdunstungsbeschichtung;
effusion cell， Durchströmungsquellen.


Technische Parameter:
Vakuumkammer: Zylindergehäuse aus Edelstahl 304 mit Standarddurchmessern von 18 Zoll und 24 Zoll – skaliert, um der spezifischen Anwendung zu entsprechen;
Pumping: Molekularpumpe oder Kondensationspumpe;
Load Lock: Manuelle oder automatische Übertragung, geeignet für kleine Scheiben aller Formengrößen bis zu 200 mm, Hochvakuum-Hintergrundübertragung;
Prozesssteuerung: PC / PLC-automatische Steueroberfläche, Menüsteuerung, Datenerfassung und Fernsteuerung;
In-Situ Monitoring & Control: QCM-Filmdickenüberwachung, optische Filmdickenüberwachung;
RGA-Restgasanalyse;
Substrat Fixture: Einzel-, Mehr-, Planeten-Substrat-Befestigung;
Substrate Holders: beheizbar, kühlbar, biasdruckbar, drehbar;
Ionenquelle: Substrat vorgereinigt, nano-Oberflächenmodifiziert.

Ablagerungstechniken:
Magnetron Sputtering RF, DC, or Pulsed-DC， Mit HF-Spritzen, Gleichstrom-Spritzen, Impuls-Gleichstrom-Spritzen;
Electron Beam Evaporation， Elektronenstrahl verdampft;
Thermal Evaporation， Wärmeverdampfung;
Organic Evaporation for OLED/ PLED and Organic Electronics， organische Verdunstung (für OLED / PLED und organische Elektronik);
Glancing Angle Depostion (GLAD), Neigungswinkel Ablagerung
Cathodic Arc Plasma Deposition, Kathodenplasma unterstützt die Ablagerung.