Membran Dicke Controller

MehrzweckIC/5Membran Dicke ControllerIdeal für die Regelung der Schichtabscheidungsgeschwindigkeit und der Schichtdicke bei Multi-Source-, Multi-Tiegel-, Multi-Material- oder Multiprozesssystemen. IC/5 erfüllt auch komplexe, anspruchsvolle und spezielle Anwendungen. Er ist spezialisiert auf Prozesssteuerung, Logikfunktionen, Speicherkapazitäten für Programme und Membranschichten, Prozessdatenmanagement und insbesondere die Steuerung der Ablagerungsgeschwindigkeit und der Membransticke.

Hauptleistungsparameter

Frequenzauflösung: 0,03 Hz bei 6,0 MHz

Massenauflösung: 0,375 ng/cm²

Sensorische Chipfrequenzen: 2,5, 3, 5, 6, 9,5, 10 MHz

◆ Membrandicke: 0,000 bis 999,9 K & Aring;

Membranformungsgeschwindigkeit: 00,0 bis 999 Ang/sec (0 bis 9,99 μm/min)

Anzahl der Schichten: 1-999

Grafik: 256 x 64 LCD, CCFL Hintergrundbeleuchtung

◆ Vollständige Konfiguration

MDC360C Host 1, Oszillator und Kabel 1, Sonde 1, Chip 5 Stück

◆ Host-Größe: 16,98 x 3,47 x 9,355 (Einheit: Zoll)

Frontplattenbreite 18,98 Zoll

Umfassende Prozesskontrolle

Der IC/5 verfügt über eine breite Palette von Funktionen, die den Entleerungsprozess starten, das Steuerventil einschalten, die Plattenheizung aktivieren usw. Diese erweiterten Funktionen reduzieren die Komplexität und Kosten des Systems, indem das System keine Hilfseinrichtungen benötigt. Die Logik- und Steuerfunktionen des IC/5 umfassen 100 programmierbare logische Zustände. Die I/O- und TTL-Relaisplatten bieten bis zu 24 Relaisausgänge, 28 TTL-Eingänge, 14 TTL-Ausgänge, 20 Zählungen und 20 Zeitmessungen. Logische Zustände können mit externen Eingaben oder Ausgaben kombiniert werden. Jeder Zustand kann bis zu fünf Funktionen enthalten und mit boolescher Logik verknüpft werden. Der IC/5 bietet sechs zugewiesene Abweichungen von Analogausgängen, Ablagegeschwindigkeit, Membransticke oder Ablagegeschwindigkeit für die Quellensteuerung oder den Ausgang des Grafikloggers.

Robustes Prozessverschreibungs- und Datenmanagement

Der IC/5-Membransteuerer bietet eine Reihe von Funktionen und Optionen, die den Anwendern helfen, Prozessverschreibungen und -daten effizient zu verwalten:

Reichreiche Bordlager – bis zu 50 Prozesse und 250 Membranschichten. Ermöglicht sofortigen Zugriff auf die von Ihnen verwendeten Prozessdaten und Rezeptdateien. Diese Eindringlichkeit ist besonders wertvoll für komplexe Prozesse mit vielen Membranschichten, für Beschichtungssysteme, die in mehreren Prozessen laufen, sowie für Anwendungen wie Entwicklung oder Prozessentwicklung.

Festplattenoptionen – zur unbegrenzten Speicherung von Prozessdaten und Rezepten. Option zur Offline-Bearbeitung – zum Eingeben oder Eingeben von Daten auf einem Computer (nicht auf einem IC/5-Panel). Mit dieser Software ist die Programmierung besonders für mehrschichtige Folien- und Materialprozesse einfacher und effektiver. Datenaufzeichnung – Prozessinformationen (Endmembrandicke, durchschnittliche Ablagerungsgeschwindigkeit, Anzahl der Ausführungen, Anzahl der Membranschichten usw.) können automatisch im ASCII-Format in einen Fernbedienungsanschluss, einen Druckerport oder eine Festplatte aufgezeichnet werden. Mit der Option des Laufwerks kann der IC/5 Daten in einem erweiterten Format speichern, was die Datenspeicherung und -verarbeitung des Prozesses vereinfacht. Die Datenaufzeichnung ermöglicht eine einfache Nachbearbeitung und eine schnelle Korrektur. Für die Herstellung nach ISO 9000 oder QA-Zertifizierung ist die Prozessverfolgung *

Auto Z -Kompakte Beschichtungen für mehrschichtige Materialien

IC/5 Auto Z-Technologie, die automatisch das Z-Verhältnis bestimmt, verbessert die Kontrollgenauigkeit der Schichtdicke und der Ablagegeschwindigkeit, so dass der Benutzer nicht mehr das Schallwiderstands-Verhältnis (Z) berechnen muss³Wenn mehrere Materialien auf einem Kristall abgelegt werden, ändert sich das Verhältnis Z mit dem Verhältnis des Materials an dem Kristall, so dass die Änderung des Z-Wertes dynamisch ist. Auto Z Kontinuierliche Korrektur des Z-Verhältnisses. Diese Funktion ist besonders wichtig, um die genaue Membranschichtdicke und die Ablagerungsgeschwindigkeit bei der Ablagerung von stratifizierten oder legierten Materialien auf einem einzelnen Kristall aufrechtzuerhalten.

³Auto Z – US-Nummer 5.112.642

AUTO TUNE –Für schnelle Einstellungen

Die Auto-Tune-Funktion des IC/5 entnimmt wiederholte Testschritte und spart Zeit bei der Einstellung, indem sie die Feedback-Regelkonstanten der Quelle schnell und automatisch bestimmt. Auto Tune wählt den besten Algorithmus aus einer Reihe von Steuerungsalgorithmen – einschließlich eines dreiparametrischen PID-Algorithmus (Positiv, Integral, Differential) – um eine reibungslose Kontrolle über eine Vielzahl von Quellen zu erreichen.

Multisensormessung–Für hohe Wiederholbarkeit

Für bestimmte optische Beschichtungen und andere Anwendungen sind Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit besonders wichtig. Der IC/5-Controller kann Messungen von bis zu acht Sensoren integrieren, um die ungleichmäßige Verteilung der Quelle auf ein Minimum zu reduzieren und eine gute Membranabscheidungsrate und -dicke zwischen dem letzten und dem nächsten Beschichtungsablauf zu gewährleisten. Wenn die Substrate auf dem planetaren Substrat dreht, sammelt der IC/5 gleichzeitig Daten von den Positionen der einzelnen Sensoren, um sicherzustellen, dass die erhaltenen Informationen die Verteilung der aktuellen Quelle repräsentieren. Im Vergleich zu den Steuergeräten für einzelne Sensorteile verbessert die Messung von mehreren Sensorteilen die Wiederholbarkeit der Membransticke aufgrund der festen Gesamtabscheidungsgeschwindigkeit der Steuermembranschicht, unabhängig von den Schwankungen in der Quellenverteilung. Wenn sich das Verteilungsmuster der Quelle ändert, passt der IC/5 die Leistung entsprechend an. Obwohl die Ablagerungsrate auf jedem einzelnen Sensorteil erheblich variieren kann, bleibt die Gesamtrate unverändert. Die Gesamtmenge des auf jedem Substrat abgelegten Materials wird genau kontrolliert; Die Gesamtmembrandickenpräzision kann im Vergleich zu den Steuergeräten einzelner Sensoren zweimal bis dreimal höher sein. Durch die präzise Erkennung von Eigenschaftsänderungen, die durch den Verschleiß der Quelle entstehen, hilft Ihnen die Mehrsensormessung:

Wann soll eine Quelle hinzugefügt werden?

Bestimmung der optimalen Einstellungswerte für Parameter wie Scan, Reichweite und Hochfrequenzschwingung der Elektropistole

Erstellen besserer Prozess Rezepte

Da alle Sensorteile mit einem IC/5-Controller verbunden sind, erfordert der Schrank wenig Platz und korrigiert drei bis fünfmal schneller als die alte Multicontroller/Computer-Kombination.

Präzise gemeinsame Ablagerung

IC/5 steuert die gleichzeitige Beschichtung beider Materialien. Es enthält einen programmierten Verhältnisparameter, der das Verhältnis der Legierung bei einer sich ändernden Ablagegeschwindigkeit steuert, sowie einen Querempfindlichkeitsparameter (oder einen String-Parameter), der automatisch eine Materialbeschichtung aus einer Quelle auf ein Sensorteil kompensiert, das zur Steuerung einer anderen Quelle verwendet wird. Die Auto-Z-Funktion trägt auch zur Co-Ablagerung von IC/5 bei, um die Präzision der Membrandicke zu erhalten, wenn verschiedene Materialien auf einem Kristall gemischt werden.

Einfach in bestehende Geräte einzubauen

IC/5Membran Dicke Controller Anpassungskabel für die einfache Installation in bestehende Geräte und den Austausch von alten INFICON oder anderen Herstellern. Details wenden Sie sich bitte an unsere Abteilung.