Helium-Ionen-Chromatometer für die Analyse von Tetrachlorsilikan

Das Gerät ist mit einem hochempfindlichen Helium-Ionisierungs-Detektor ausgestattet, der die Zentralschnitttechnologie von Huawei verwendet, und die Probenventile verfügen über einen Blassschutzluftweg; Die gesamte Maschine ist mit mehreren Säulen ausgestattet und ist mit einem automatischen Eingangsdruckkorrektursystem ausgestattet, um die Eingangsmenge von Proben aus verschiedenen Grundgasen zu gewährleisten.

Helium-Ionen-Chromatometer für die Analyse von TetrachlorsilikanFür die Prüfung von Spuren von Verunreinigungen in Gasen für die Elektronikindustrie können kleine Prüfkonzentrationen bis zu 5 ppb verwendet werden. Das Gerät ist mit einem hochempfindlichen Helium-Ionisierungs-Detektor ausgestattet, der die Zentralschnitttechnologie von Huawei verwendet, und die Probenventile verfügen über einen Blassschutzluftweg; Die gesamte Maschine ist mit mehreren Säulen ausgestattet und ist mit einem automatischen Eingangsdruckkorrektursystem ausgestattet, um die Eingangsmenge von Proben aus verschiedenen Grundgasen zu gewährleisten. Die Produkte erhielten die Auszeichnung Shanghai High-Tech-Erfolge Umwandlung A-Klasse-Projekt.

Silizium (SiHCl)3Gehalt (Volumenfraktionen) / l0-6 ≤		400	25
Dichlorsilikan (SiH)2Cl2Gehalt (Volumenfraktionen) / l0-6 ≤		400	25
Methyldichlorsilan (SiCl)2CH4Gehalt (Volumenfraktionen) / l0-6 ≤		200	50
Metalle und andere Elemente	Gehalt an (Bor + Aluminium) (B + Al) / (µg / kg) ≤	——	0.1
	Gehalt an (Phosphor + Arsen) (P + As) / (µg / kg) ≤	——	0.3
	Gehalt an Gallium (Ga)/(µg/kg) ≤	——	0.5
	Antimongehalt (Sb)/(µg/kg) ≤	——	0.5
	Indiumgehalt (In)/(µg/kg) ≤	——	0.5
	Kalziumgehalt (Ca)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Chromgehalt/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Eisengehalt/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Kaliumgehalt (K)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Natriumgehalt (Na)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Gehalt an Nickel (Ni)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Molybdenumgehalt/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Mangangehalt (Mn)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Kupfer-Gehalt/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Cadmiumgehalt (Cd)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Kobaltgehalt/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Zinkgehalt/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Vanadium (V) Gehalt/(µg/kg) ≤	1	0.5