Ultra-Hochvakuum-Mehrkammerphysikalisches Gasphase-Ablagerungssystem

SuperHochvakuum-Mehrkammerphysikalisches Gasphase-Ablagerungssystem (PVD)

Das System, das von einem professionellen Hersteller von Ablagerungsgeräten hergestellt wurde, verfügt über eine Vielzahl von Ablagerungsmethoden (eine Vielzahl von Funktionsschnittstellen vorbehalten), ist hochflexibel und eignet sich hervorragend für die wissenschaftliche Forschung mehrerer Ablagerungsmodelle.

Derzeit ist die Ablagerung des Systems unter sehr hohen Vakuumbedingungen (nur mit mechanischer Pumpe + Molekularpumpe, Maximalvakuum bis zu 5X10E-10Torr). Mehrere kombinierte Ablagerungsmodi, die mehrere funktionelle Ablagerungsmodi in derselben Kammer realisieren, sind die Ablagerungsquellen:
Magnetron Spritzquelle
Elektronenstrahlverdampfungsquelle
Wärmeverdampfungsquelle
Das System ist hochflexibel, die Software ist einfach zu bedienen, spezialisiert auf die Ablagerung von ultrareinen Filmen für Forschungsinstitute und ist ein echtes Ultrahochvakuum-Ablagerungssystem.
Technische Parameter:
Endvakuum: <5x 10E-10 torr (nach 24 Stunden Backkühlung);
Gleichmäßigkeit der Beschichtung: <3%
Probentransfer: Einfache Montage auf dem Untergrund
Schrank: kleine Struktur, die Platz einnimmt;
Probe Tisch Arbeiten: Drehen, Heizen, Belastung Partitdruck;
Probenbetrieb: Vorpumpe Vakuumkammer;
Probengröße: 1 ", 2 ", 3 ", 4 ", 8 ", 12" usw.;
Membran Dicke Überwachung: Quarzkristall Mikrowaage, Elliptometer;
Backen: Integrierte Heizung oder externe Wärmedämmung;
Einfache und bequeme vollautomatische Softwarebedienung: Vollautomatisch wird das Vakuum gezogen und das Programm läuft automatisch.