1200 ℃ Vorbeheizung Schiebe Dual Temperaturzone PECVD System

Anwendungen:zwei

PECVD-System ist mit Hilfe von Funkfrequenz, um Gase zu ionisieren, die Atome enthalten, die eine dünne Folie bilden, um ein Plasma lokal zu bilden, während das Plasma sehr chemisch aktiv ist und leicht reagiert, um die gewünschte Folie auf dem Substrat abzulegen.

Produktzusammensetzung:

PECVD Systemkonfiguration:

1.1200 Grad offener Dual Temperaturzone Vakuumrohrofen

2. Schiebesystem unterteilt in manuelle, elektrische Schiebe und Konfiguration des in-Rohr-Temperaturmesssystem.

3. Vorbeheizter offener Elektroofen

4. Plasma-Funkversorgung

5. Mehrfaches Massenflusskontrollsystem

6. Vakuumsystem (optional mittelvakuum oder hochvakuum)

Eigenschaften:

niedrige Wachstumstemperatur; Schnelle Ablagerungsrate; Gute Filmqualität, breite Anwendungsbereiche und einfache Ausrüstung.

Tianjin Zhongyuan Elektroofen Co., Ltd. Adresse: No. 11 Shuangchuan Road, Beichen Science and Technology Park, Beichen District, Tianjin