RLD10 Differenzialinterferometer

Das Differenzialinterferometer ermöglicht die Messung von Positionsänderungen gegenüber dem definierten Referenzobjekt.

Der Differenzialsender hat eine optische Konstruktion, die eine extrem niedrige SDE-Leistung ermöglicht. Der eingebaute Laser-Ausrichtungsspiegel ermöglicht die Anpassung des Neigungs- und Drehwinkels während der Einstellung, wodurch der Ausrichtungsprozess verbessert wird (nur für Flächenspiegel-Anwendungen geeignet).

Der RLD10-X3-DI-Sendekopf kann über einen einfachen dreistilligen Befestigungsrahmen an die Außenwand des Arbeitsraums montiert werden. Der Lichtweg kann ohne Eintritt in den Arbeitsraum korrigiert werden, der eingebaute Laser-Gleichstellungsspiegel ermöglicht eine unabhängige Einstellung der Neigung und Drehung von Referenz- und Messstrahlen und das Installationssystem ermöglicht das Entfernen und die Einstellung der Sendekopfposition mit minimalen Auswirkungen auf die Gleichstellung des Systems.

Eigenschaften und Vorteile

• Ausgezeichnete Messleistung- Stabile Frequenzgenauigkeit in ppb, ultraniedrige Zyklusfehler, Ausgangsauflösung von 38,6 pm.
• Konfiguration der DifferenzMessung der Verschiebung der Bewegungsplattform in Bezug auf die montierte Säule, um häufige Musterfehler zu beseitigen, wie z. B. die Bewegung der Arbeitsflächenseitenwände im Zusammenhang mit Umgebungsschwankungen.
• Schnelle EinstellungMit vier eingebauten Laser-Direktspiegeln können Sie ganz einfach direkt außerhalb der Vakuumkammer einstellen, wodurch Toleranzen zur Installation von Vakuumkammern und Spiegelsätzen eliminiert werden.

Spezifikationen

Der Renishau RLU20 wird üblicherweise zur Konfiguration des Differenzialinterferometer-Sendekopfes verwendet. Die hohe Stabilität der RLU20-Laserquelle in Kombination mit der hohen Leistung des Differenzialinterferometer-Senders ist sicherlich die ideale Wahl für Anwendungen in Vakuumkammern und anderen klimatisierten Umgebungen.

Renishau RLD10 Differenzialinterferometer

Renishau RLD10 Differenzialinterferometer