Großbritannien Renishaw RLD10 Flachspiegelinterferometer

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Großbritannien Renishaw RLD10 Flachspiegel-Interferometer$r$nRLD10 Flachspiegel-Interferometer$r$n Flachspiegel-Interferometer eignet sich für Anwendungen auf der XY-Plattform.

Produktdetails

RLD10 Flachspiegelinterferometer

Das Flachspiegelinterferometer eignet sich für Anwendungen auf der XY-Plattform.

Der RLD10-Sendekopf enthält einen Interferenzspiegel-Satz, ein Multi-Channel Streifen-Erkennungssystem*, ein Laser-Schlitzer und ein eingebautes Laser-Parallel-Hilfsspiegel. In den Modellen RLD10 0° und 90° erhältlich.

Eigenschaften und Vorteile

Zwei-Achsen-LösungDas Doppelachsspiegelsystem ist die ideale Lösung für Anwendungen auf der XY-Plattform.
Hohe Auflösung- Im Vergleich zu Winkelspiegelsystemen können Flachspiegelsysteme auch für Anwendungen eingesetzt werden, die eine höhere Auflösung erfordern.
Empfindliche Umgebung— Es wird auch ein Flachspiegel-Interferometer-Senderkopf mit niedriger Leistung angeboten. Geeignet für Anwendungen mit geringeren Leistungsanforderungen als der Standard-RLD-Nennwert (d.h. < 2 W).

RLD发射头和镜组

Spezifikationen

Achsenlauf	0 m bis 1 m
Auflösung (mit RLU-Konfiguration)	Analoge Ortogonale = λ/4 (158 nm) Digitale Ortogonale = 10 nm RPI20 Auflösung = 38,6 pm
Nichtlinearer Systemfehler* (SDE) * Keine Schnittstelle enthalten	<±2,5 nm bei weniger als 50 mm/sec und Signalstärke > 70% ± 7,5 nm bei 1 m/sec und Signalstärke > 50%
Geschwindigkeit	Bis zu 1 m/sec

Für Anwendungen ohne Vakuum ist eine Form der Brechungskompensation erforderlich, um die Genauigkeit unter variierenden Umgebungsbedingungen aufrechtzuerhalten. Renishaw bietet das Echtzeit-Quadratwellenkompensationssystem RCU10 zur Kompensation von Umweltveränderungen an.

Bei Wahl der RPI20-Parallelschnittstelle und Integration in das RLE-System erreicht man eine Auflösung von 38,6 Pim. Diese Schnittstelle empfängt eine Differentialsimulation von 1 Vpp Sinus/Kosinussignalen und bietet ein paralleles Ausgabeformat. Weitere Informationen zum Zubehör finden Sie unter RCU10 Kompensationssystem und Laserschalter.

Großbritannien Renishaw RLD10 Flachspiegelinterferometer

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