04,03,2026 2Ansichten
Vor kurzem wurde das Forschungs- und Entwicklungsprogramm des "14. Fünfjahreszeits" "Grundlagenforschungsbedingungen und Forschungs- und Entwicklungsprojekte für wichtige wissenschaftliche Instrumente" - ein hochauflösendes Lichtentladungsmassenspektrometer (Modell: Sparkle) - unter der Leitung des Massenspektrometerteams der Fakultät für Elektrotechnik der Xi'an Jiaotong Universität abgeschlossen, was den Schlüsselbruch des inländischen Prozesses der hochwertigen wissenschaftlichen Instrumente in China markiert.
Glitzentladungsmassenspektrometer sind „Supermikroskope“ zur Untersuchung von Feststoffen. In der High-End-Industrie wie der Chipfertigung kann auch die Mischung von Spuren von Verunreinigungen in dem Substratsmaterial einen Gitterfehler verursachen, der zu einem Ausfall des gesamten Chips führt. Mit einer sehr hohen Spurenerkennungsgrenze auf dem Niveau von ppt (ein Billionstel) ist das Glitzentladungsmassenspektrometer ein High-End-Präzisionsinstrument, das für die genaue Messung von ultrahohen reinen Materialverschmutzungen unerlässlich ist.
In der Vergangenheit waren Glitzer-Entladungsmassenspektrometer ausschließlich auf Importe angewiesen und die Beschaffungs- und Wartungskosten waren extrem hoch. Diese kommerzialisierte Landung löste direkt die wichtigsten Schmerzpunkte der inländischen Prüfinstitute wie Cova-Tests und verwandten Unternehmensausrüstungen, die von Menschen behindert wurden, reduzierte die Einkaufs- und Wartungskosten der inländischen Materialprüfinstitute erheblich, verbesserte die Qualitätsprüfungseffizienz von hochreinen Materialien, integrierten Schaltungsmaterialien und anderen Schlüsselprodukten und half Unternehmen, technische Engpässe zu brechen; Durch autonom kontrollierte Prüfgeräte wird die Sicherheit der Lieferkette und die Datensicherheit in strategischen Materialbereichen unseres Landes gewährleistet und eine solide technische Unterstützung für High-End-Fertigung, neue Energien, Luft- und Raumfahrtindustrien und andere Industrien bereitgestellt.
Dieses kommerzielle Modell wurde durch die Inbetriebnahme der gesamten Maschine geliefert, dessen Fülle, Empfindlichkeit und mehr als ein Dutzend Kern-Schlüsselindikatoren wurden auf einmal akzeptiert. Der Betrieb der Ausrüstung vor Ort ist stabil, die Daten werden schnell ausgegeben, die Prüfungsgenauigkeit ist vollständig standardisiert, das Feedback ist ausgezeichnet und hat die Zuverlässigkeit und die Umweltanpassung des inländischen Lichtentladungsmassenspektrometers vollständig überprüft.
Sparkle-Typ Glitzer Entladung Massenspektrometer von der Xi'an Jiaotong Universität geführt, gemeinsam mit dem Nordwesten Atomtechnologie Forschungsinstitut, Kunyuan Instrument (Tianjin) Co., Ltd., Nordic University of Technology, Shanghai Silicate Institut der chinesischen Akademie der Wissenschaften, Stahlforschung und Prüftechnik Co., Ltd., das chinesische Forschungsinstitut für metrologische Wissenschaften, Guoheng allgemeine Prüfung und Bewertung Zertifizierung Co., Ltd. und andere Einheiten durchführen Geräte komplette Maschinen Forschung und Entwicklung, Ingenieur Industrialisierung, Feststoff-Standard-Entwicklung und Analysemethoden Entwicklung, die Realisierung100% inländische Herstellung von Schlüsselkomponenten，Schlüsseltechnologie 100% autonom kontrolliert，Leistungsindikatoren auf internationalem fortgeschrittenen NiveauDie Kompetenz zur Spuren-Verunreinigungserkennung auf dem Gebiet der integrierten Schaltungsmaterialien in China ist umfassend gestattet, die selbständige, kontrollierbare Verteidigungslinie der Gefängnisindustrie wurde gebaut und die ausländische technologische Blockade vollständig gebrochen.
