EQ-TM106 Film Dicke Monitor

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Der EQ-TM106-Membrandickenmonitor verwendet das Prinzip der Quarzkristallschwingung in Kombination mit der Frequenzmesstechnologie zur Online-Überwachung der Membrandicke. Wird hauptsächlich in MBE, OLED-Wärmeverdampfung, Magnetronsputterung und anderen Geräten bei der Filmherstellung verwendet, um die Schichtdicke und die Beschichtungsgeschwindigkeit in Echtzeit zu überwachen.

Produktdetails

EQ-TM106 Film Dicke MonitorDas Prinzip der QuarzkristallschwingungKombinieren* Frequenzmeßtechnik，Durchführen Sie eine Online-Überwachung der Membransticke. hauptsächlichSolltefürMBEundOLEDGeräte für Wärmeverdampfung und Magnetronsputternderwährend der Filmherstellung，fürgegenSchichtdicke und BeschichtungsgeschwindigkeitEchtzeit durchführenÜberwachung.EQ-TM106 Film Dicke MonitorgemäßHerstellung von FilmEchtzeit-Geschwindigkeit kann ausgegeben werdenPWM(Pulsbreitenmodulation)analoge Menge,alsMembrandickensensoren in Verbindung mit Regler und Verdampfungsstromversorgung zur Geschwindigkeitsregelung der Verdampfungsquellezur Ermittlung der Dicke der hergestellten Folie.EQ-TM106 Film Dicke MonitorKleine Größe Schokolade kann Laborplatz sparen, das Prinzip ist einfach und einfach zu bedienen, besonders geeignet für die Verwendung des Prozesses der Film-Vorbereitung im Labor.

ProduktName	EQ-TM106 Film Dicke Monitor
Produktmodell	EQ-TM106
Hauptmerkmale	1、BenMaschineEs kann mit dem Computer verbunden werden. 2,AnzeigehabenSchnittstelleEinfachIntuitive, vernünftige, einfache und schnelle Bedienung und andere Vorteile können intuitiv die gemessene Filmdicke, Geschwindigkeit und Frequenz anzeigen.PWMArbeitszustand wie Prozentsatz der Ausgabe steuern. 3 undÜber Software oder Display können die Türsteuerungszeiten, Ausgangsmethoden, Geschwindigkeitsalgorithmen, Materialparameter, Ausgangsbereiche und Kommunikationsparameter eingestellt und die entsprechenden Messdaten geschrieben werdenfür ExcelDatei. 4 undEs hat die Vorteile des kleinen Volumens, der hohen Messgenauigkeit, der einfachen Bedienung und der einfachen Verwendung.
technische Parameter	EQ-TM106-1 Überwachungskomponente Stromversorgung: DC 5V（±10%），Großer Strom 400mA 2. Frequenzauflösung:± 0,03Hz 3, Membran Dicke Auflösung:0.0136（Aluminium） 4, Membran Dicke Genauigkeit:±0.5%Abhängig von den Prozessbedingungen, insbesondere der Position des Sensors, der Materialspannung, der Temperatur und der Dichte Messgeschwindigkeit: 100ms-1s/Nächster，Einstellbar Messbereich: 500.000 Å (Aluminium） Standard-Sensorkristall: 6 MHz Schnittstelle: RS-232/485Serielle Schnittstelle（Portrate 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38400 einstellbar，Datenbits：8，Stopp Bit：1，Überprüfen：Nichts） Analoge Ausgabe: 8Bitauflösung，PWM-Pulsbreitenmodulationsausgang（Öffnen oder internen 5V-Ausgang） Arbeitsumgebung: Temperatur 0-50 ° C, Feuchtigkeit 5% -85% RH, keine Kondensationswasserperlen 11. Außengröße: 90mm×50mm×18 mm
	Bildschirm EQ-TM106-2 Eingangsstromversorgung: AC 220V±10% Ausgangsstromversorgung: DC 5V 3A Anzeige: 12×2 Digitale RöhreundLEDs Kommunikation: RS-485 (Portrate 1200, 2400, 4800, 9600, 19200, 38 400 verfügbarEinrichten,Datenbits：8 Stellen，Stopp Bit：Einer，Paritätsprüfung：Nichts） Größe: 182mm×65mm×160 mm
	Sonde EQ-TM106-3 Anwendbare Chipfrequenz: 6MHz 2. Anwendbare Chipgröße:Ø14 mm Montageflansch: CF35 4. Kühlwasserleitung:Ø3 mmLänge 300mm500mm und 1000mm Kühlwasserdruck: < 0,3 MPa 6, Pneumatische Blockierrohre:Ø3 mm Druckluftdruck: < 0,8 MPa,> 0,5 MPa 8. Backtemperatur:Wasserzustand< 200 ℃, Flansch im nicht wasserförmigen Zustand < 100 ℃ Elektrische Schnittstelle: BCNSteckdose
Standardzubehör	1	EQ-TM106-1 Überwachungskomponente	Einen
	2	Bildschirm EQ-TM106-2	1 Einheit
	3	Sonde EQ-TM106-3	Einen

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