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Shenyang Ke Crystal Automation Equipment Co., Ltd.
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Spektralellipsometer SE-VM

VerhandlungsfähigAktualisieren am02/18
Modell
Natur des Herstellers
Hersteller
Produktkategorie
Ursprungsort
Übersicht
Produktbeschreibung: Das SE-VM ist ein hochpräzises Spektralellipsometer für schnelle Messungen. Durch die Messung von elliptischen Parametern, Transmission / Reflexivität und anderen Parametern kann eine schnelle Charakterisation optischer Parameter-Filme und Nanostrukturen erreicht werden, die sich für die schnelle Messcharakterisierung von Filmmaterialien eignen. Unterstützung für Multi-Winkel, Mikroflecken, Visualisierung Abgleichsysteme und andere hohe Kompatibilität Flexibilität Konfiguration, Multifunktionsmodule individuelle Konstruktion. $r$n$r$n Hochpräzise elliptische Messlösungen; Hochpräzise und schnelle verlustfreie Messung; Unterstützung für die flexible Anpassung der Funktionsmodule von Multi-Winkel, Mikroflecken und Visualisierung des Gleichstellungssystems; Umfangreiche Datenbank- und Geometriemodellbibliotheken für leistungsstarke Datenanalyse
Produktdetails

Produktmodell

Spektralellipsometer SE-VM

Hauptmerkmale

1, mit einer hochleistungsfähigen importierten Lichtquelle, die spektrale Abdeckung kann im nahen Infrarotbereich (380-1000 nm) gesehen werden

Hochpräzise Rotationskompensatormodulation, PCRSA-Konfiguration für die hohe Geschwindigkeit der Erfassung von Psi / Delta-Spektrendaten

3, Unterstützung Serienkonfiguration flexibel, kann nach verschiedenen Anwendungsszenarien multifunktionale modulare Anpassung unterstützen

Hunderte von Materialdatenbanken, eine Vielzahl von Algorithmusmodellbibliotheken, die den größten Teil der derzeitigen optischen Materialien abdecken

technische Parameter

Automatisierungsgrad: manuelle Winkelwechslung

2, Anwendung Positionierung: allgemeiner Typ

Grundfunktionen: Spektren wie Psi/Delta, N/C/S, R/T

Analysespektrum 380-1000 nm (erweiterbar auf 210-1650 nm)

Einmalige Messzeit: 0,5-5s

Wiederholbare Messgenauigkeit: 0,01 nm

7, Fleckgröße: große Flecken 2-3mm, Mikroflecken 200μm

8, Eingangswinkeleinstellung: manuelle Winkelwechslung

Eingangswinkelbereich: 55-75° (5° Schritt), 90°

Fokussierung: Manuelle Fokussierung

Mapping: Nicht unterstützt

12, Unterstützung Probengröße: bis zu 180mm

Optionales Zubehör

1

Temperatursteuerung

2

Mapping Erweiterungsmodule

3

Vakuumpumpen

4

Transmittionsadsorptionskomponenten