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Shenyang Ke Crystal Automation Equipment Co., Ltd.
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ME-L Vollautomatisches hochpräzises Müller-Matrix-Elliptometer

VerhandlungsfähigAktualisieren am02/18
Modell
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Hersteller
Produktkategorie
Ursprungsort
Übersicht
Der ME-L ist ein vollautomatischer, hochpräziser Müller-Matrix-Elliptometer von wissenschaftlicher Qualität, der die jahrelange Investition des Forschungsteams in die Elliptiktechnologie zusammenfasst und branchenweit innovative Technologien einsetzt, einschließlich Farbdifferenzkompensatoren, synchronisierter Steuerung mit doppelten Rotationskompensatoren und Müller-Matrix-Datenanalyse. Anwendungsbereiche für Halbleiter-Film-Strukturen, Halbleiter-periodische Nanostrukturen, neue Materialien, neue physikalische Phänomensforschung, Flachbildschirme, Photovoltaik-Solarenergie, funktionelle Beschichtungen, Bio- und Chemietechnik, Blockmaterialienanalyse und Tabellen für eine Vielzahl von homogenen / heterogenen Film-Materialien mit Membrandicken, optischen Nano-Rasterkonstanten und einer / zwei-dimensionalen Nano-Raster-Materialstruktur
Produktdetails

Produktmodell

ME-L Vollautomatisches hochpräzises Müller-Matrix-Elliptometer

Hauptmerkmale

1, die Verwendung von Deuteriumlampen und Halogenlampen mit einer Lichtquelle, die UV-bis nahen Infrarotbereich (193-2500 nm) abdeckt

Müller-Matrix-Datenverarbeitung, größere Messinformationsmenge, schnelle Messgeschwindigkeit und genauere Daten

Basierend auf der Konfiguration des Doppel-Rotationskompensators können 16 Elemente der gesamten Müller-Matrix auf einmal gemessen werden und umfassendere Messinformationen im Vergleich zu herkömmlichen Spektralellipsometern erhalten werden.

4, um sicherzustellen, dass ein hochwertiges und stabiles Bandspektrum im breiten Spektrumbereich bereitgestellt wird

Hunderte von Materialdatenbanken, eine Vielzahl von Algorithmusmodellbibliotheken, die den größten Teil der derzeitigen optischen Materialien abdecken

6, Integration der Analyse des Nano-Rasters, kann gleichzeitig messen und analysieren die nanostrukturelle Zyklus, Linienbreite, Linienhöhe, Seitenwandwinkel, Rauheit und andere geometrische morphologische Informationen

technische Parameter

1. Anwendung: Forschung / Unternehmensniveau

Grundfunktionen: Psi/Delta, R/T, Müller-Matrix und andere Spektren

Analysespektrum: 380-1000 nm (Unterstützung für Erweiterung auf 210-1650 nm)

Einzelmesszeit: 1-8s

Wiederholbare Messgenauigkeit: 0,005 nm

Genauigkeit (direkte Messung der Luft)

Elliptische Parameter: ψ = 45 ± 0,05 °ElliptischeParameter: ψ = 0 ± 0,1 °

Müller-Matrix: Diagonalelement m = 1 ± 0,005; Nicht-diagonale Elemente m = 0 ± 0,005

7, Fleckgröße: große Flecken 2-3mm; Mikroflecken 200μm

Optionale Konfiguration

Bandauswahl

V: 380-1000nm

UV: 245-1000nm

XN: 210-1650nm

DN+: 193-2500nm

Auswahl des Winkels

Automatisch: 45-90°

Manuell: 55-75° (5° Schritt), 90°

Festlegung: 65°

Weitere Optionen

Mapping Auswahl: 100 x 100mm (zur Referenz, auf Anfrage anpassbar)

Thermostat: Raumtemperatur 1 600C (zur Referenz, auf Anfrage angepasst)

Optionales Zubehör

1

Temperatursteuerung

2

Mapping Erweiterungsmodule

3

Vakuumpumpen

4

Transmittionsadsorptionskomponenten